公开(公告)号：CN107683519B

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：CN201680021768.4

申请日：2016-04-06

申请人： 威咖亚力山大威甘德公司

发明人： 索斯滕·塔布凯 ,  托马斯·萨埃韦

IPC分类号： H01H33/56 ,  F26B21/14 ,  H02B13/055 ,  H01B3/56 ,  B01D53/26 ,  F26B3/04

CPC分类号： F26B21/145 ,  B01D53/261 ,  F26B3/04 ,  F26B21/14 ,  H01B3/56 ,  H01H33/562 ,  H02B13/055

摘要： 本发明涉及一种用于干燥腔室的方法，所述腔室包括在正压下在腔室内的主要的保护气体气氛，其具有工作压力p1和预先指定的最低压力pmin，其中，对气体室的最低压力pmin进行监测，并且工作压力p1大于最低压力pmin，其中，该方法包括以下步骤：a)从气体室中取出保护气体的分量V1，其中，分量V1对应压差Δp，压差小于或等于p1和pmin之间的差值，b)将干燥或经干燥的保护气体的分量的V2引通入气体室，直到气体压力p2大于pmin，以及c)经过预先指定的等待时间Δt后，重复所述方法步骤a)和b)。本发明还涉及一种用于执行该方法的装置。

公开(公告)号：CN107683519A

公开(公告)日：2018-02-09

申请号：CN201680021768.4

申请日：2016-04-06

申请人： 威咖亚力山大威甘德公司

发明人： 索斯滕·塔布凯 ,  托马斯·萨埃韦

IPC分类号： H01H33/56 ,  F26B21/14 ,  H02B13/055 ,  H01B3/56 ,  B01D53/26 ,  F26B3/04

CPC分类号： F26B21/145 ,  B01D53/261 ,  F26B3/04 ,  F26B21/14 ,  H01B3/56 ,  H01H33/562 ,  H02B13/055 ,  H01H33/56 ,  B01D53/26

摘要： 本发明涉及一种用于干燥腔室的方法，所述腔室包括在正压下在腔室内的主要的保护气体气氛，其具有工作压力p1和预先指定的最低压力pmin，其中，对气体室的最低压力pmin进行监测，并且工作压力p1大于最低压力pmin，其中，该方法包括以下步骤：a)从气体室中取出保护气体的分量V1，其中，分量V1对应压差Δp，压差小于或等于p1和pmin之间的差值，b)将干燥或经干燥的保护气体的分量的V2引通入气体室，直到气体压力p2大于pmin，以及c)经过预先指定的等待时间Δt后，重复所述方法步骤a)和b)。本发明还涉及一种用于执行该方法的装置。