基于氧化锌压电的柔性自供电湿度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117309940A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311141949.9

    申请日:2023-09-05

    IPC分类号: G01N27/00

    摘要: 本发明公开了基于氧化锌压电的柔性自供电湿度传感器及其制备方法,属于传感器技术领域。包括以下步骤:制备柔性衬底及第一功能层:制备正电极与负电极;制备第二功能层;制备封装层:封装层由PDMS材料和羧甲基壳聚糖交联剂混合制成,将PDMS与羧甲基壳聚糖交联剂按比例混合均匀,获得封装层混合液,通过旋涂或刮涂工艺在得到的生长有ZnO纳米棒的薄膜上制备薄膜形态封装层,并加热退火。相比于现有技术,本发明的优点在于:本发明提出的基于氧化锌压电的柔性自供电湿度传感器不需要外部供电,而是将植物生长环境中的水蒸气转化为电压信号,减少后期维护的成本且环保;其器件结构简单,与植物贴合度高、生物相容性好。