公开(公告)号：CN110657757A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201910961916.6

申请日：2019-10-11

Applicant: 安徽大学

Inventor： 张磊 ,  张宇坤 ,  黄小林 ,  李劲松 ,  俞本立

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/16

Abstract: 本发明公开了一种基于级联补偿器的未知深度光学自由曲面检测装置与方法，包括依次水平设置的干涉仪(L1)、混合补偿系统(L2)和被测自由曲面(L3)。本发明采用双级联变形反射镜(DM)进行像差补偿，利用一种级联DM解耦平均技术，可以在不降低总体像差补偿量的同时实现无耦合的像差平均分配，它对于自由曲面中非旋转对称偏离部分的覆盖范围扩大到160μm，这是迄今为止报道的最大覆盖范围；同时采用可调谐波片的时分监测(TDM)技术，避免了DM表面监测的复杂结构，使得配置更加紧凑。

公开(公告)号：CN110657757B

公开(公告)日：2021-04-06

申请号：CN201910961916.6

申请日：2019-10-11

Applicant: 安徽大学

Inventor： 张磊 ,  张宇坤 ,  黄小林 ,  李劲松 ,  俞本立

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/16

Abstract: 本发明公开了一种基于级联补偿器的未知深度光学自由曲面检测装置与方法，包括依次水平设置的干涉仪(L1)、混合补偿系统(L2)和被测自由曲面(L3)。本发明采用双级联变形反射镜(DM)进行像差补偿，利用一种级联DM解耦平均技术，可以在不降低总体像差补偿量的同时实现无耦合的像差平均分配，它对于自由曲面中非旋转对称偏离部分的覆盖范围扩大到160μm，这是迄今为止报道的最大覆盖范围；同时采用可调谐波片的时分监测(TDM)技术，避免了DM表面监测的复杂结构，使得配置更加紧凑。