公开(公告)号：CN118519226A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202410754985.0

申请日：2024-06-12

申请人： 安徽大学

发明人： 丁立 ,  姜童 ,  詹启鹏 ,  丁浩 ,  朱万豪 ,  李士昌 ,  许鸿润 ,  任积峰 ,  张晓波 ,  金里 ,  曹国威 ,  黄志祥

IPC分类号： G02B6/122 ,  G02B6/125 ,  G02B6/35 ,  G02B6/12

摘要： 一种基于相变材料的狭缝波导光开关，属于光电调制技术领域，用于解决基于热光效应、载流子色散效应的硅基光开关难以同时实现低功耗、紧凑尺寸、宽工作频带和低插入损耗的问题；所述光开关包括沿光传输路径依次连接的入射区、狭缝调制区、出射区，所述第一S型狭缝、矩形狭缝和第二S型狭缝依次连通，所述入射锥形硅波导、矩形二氧化钒和出射锥形硅波导依次连接，所述入射曲面硅波导、矩形硅波导和出射曲面硅波导依次连接，一体构成耦合波导；通过S型狭缝波导结构降低光信号进出狭缝波导产生的耦合损耗，通过施加外部电激励使二氧化钒发生相变而实现调制功能，实现了紧凑尺寸、低插入损耗，具有良好的工艺容错率。