公开(公告)号：CN1673943A

公开(公告)日：2005-09-28

申请号：CN200510000155.6

申请日：2005-01-05

申请人： 安捷伦科技公司

发明人： 文森特·C·莫耶 ,  马克·M·巴特沃思 ,  迈克尔·J·布鲁斯南 ,  鲁平德·辛格·格雷瓦尔 ,  保罗·迈克尔·韦尔奇 ,  马歇尔·T·迪普 ,  谢童

IPC分类号： G06F3/033

CPC分类号： G06F3/0317

摘要： 本发明揭示一种污染中和托座，其包括一底座及一支承表面，其构造为以可移动方式容纳一受到相干照射的鼠标。一中和元件设置于该支承表面上以对准该鼠标一光学模件的至少一个暴露表面并构造为可中和该至少一个暴露表面上的污染所产生的光电效应。本发明揭示一种中和光电鼠标污染的方法，该方法包括：提供一包含一光学模件的鼠标，该光学模件的至少一个表面暴露于该鼠标的一开口；及，在该鼠标中一污染物与该至少一个暴露表面之间插入一阻挡层。本发明还揭示一种检测污染的方法，该方法包括：使一鼠标的一光学模件与一成像表面对准；通过将来自该光学模件的相干照射施加于该成像表面来获得该成像表面的一第一图像；分析该第一图像以鉴别一与一污染相关的干涉图案；当该干涉图案的一个参数超过一阈值时提醒用户注意。