公开(公告)号：CN105466886A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510629231.3

申请日：2015-09-28

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 查尔斯·霍克 ,  瓦伦·拉格胡娜森

IPC: G01N21/39

Abstract: 本公开涉及一种中红外扫描系统。公开了用于生成样品的中红外区域图像的装置和方法。该装置包括生成第一光束的中红外区域激光器和被适配为搭载要被扫描的样品的平台。光学组件将该第一光束聚焦于样品上的一点。第一光探测器测量离开样品上的该点的光的第一强度。平台致动器组件使得该样品相对于该点在二个维度上移动。控制器从该第一强度形成中红外区域图像。该图像可以是基于反射光或透射光。被成像区域的最大尺寸由在相对于平台的第一方向上移动的扫描组件和在正交于该第一方向的方向上移动的平台确定。

公开(公告)号：CN105466886B

公开(公告)日：2019-11-26

申请号：CN201510629231.3

申请日：2015-09-28

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 查尔斯·霍克 ,  瓦伦·拉格胡娜森

IPC: G01N21/39

Abstract: 本公开涉及一种中红外扫描系统。公开了用于生成样品的中红外区域图像的装置和方法。该装置包括生成第一光束的中红外区域激光器和被适配为搭载要被扫描的样品的平台。光学组件将该第一光束聚焦于样品上的一点。第一光探测器测量离开样品上的该点的光的第一强度。平台致动器组件使得该样品相对于该点在二个维度上移动。控制器从该第一强度形成中红外区域图像。该图像可以是基于反射光或透射光。被成像区域的最大尺寸由在相对于平台的第一方向上移动的扫描组件和在正交于该第一方向的方向上移动的平台确定。