公开(公告)号：CN106063384B

公开(公告)日：2020-04-14

申请号：CN201580012078.8

申请日：2015-03-23

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 赛义德·扎伊迪 ,  皮特·T·威廉姆斯 ,  梅尔鲁斯·瓦希德保尔

IPC: H05H1/26 ,  H05H1/30 ,  H05H1/46

Abstract: 一种设备(100，1000)包括：电磁波导(100)，其支持电磁波在电磁波导的第一端(102)与电磁波导的第二端(104)之间沿第一方向的传播；以及电磁波导内的电磁场成形结构(300)。电磁场成形结构限定从设备的第一壁(103‑1)中的第一孔径(107)延伸到相反的第二壁(103‑2)中的第二孔径(109)的通道(108)。通道具有沿与第一方向不平行的第二方向延伸的轴线。第一孔径与第二孔径之间沿第二方向的距离小于波导的内部区域(111)在其第一端和第二端的宽度。在一些实施例中，等离子体炬(900)布置在通道内。等离子体炬的长度紧密地匹配其相互作用区域。

公开(公告)号：CN106063384A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580012078.8

申请日：2015-03-23

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 赛义德·扎伊迪 ,  皮特·T·威廉姆斯 ,  梅尔鲁斯·瓦希德保尔

IPC: H05H1/26 ,  H05H1/30 ,  H05H1/46

Abstract: 一种设备(100，1000)包括：电磁波导(100)，其支持电磁波在电磁波导的第一端(102)与电磁波导的第二端(104)之间沿第一方向的传播；以及电磁波导内的电磁场成形结构(300)。电磁场成形结构限定从设备的第一壁(103‑1)中的第一孔径(107)延伸到相反的第二壁(103‑2)中的第二孔径(109)的通道(108)。通道具有沿与第一方向不平行的第二方向延伸的轴线。第一孔径与第二孔径之间沿第二方向的距离小于波导的内部区域(111)在其第一端和第二端的宽度。在一些实施例中，等离子体炬(900)布置在通道内。等离子体炬的长度紧密地匹配其相互作用区域。