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公开(公告)号：CN113728164B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN201980095722.0
申请日：2019-04-30
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 罗纳德·J·弗尼
Abstract: 一种真空涡旋泵，包括：具有泵入口的入口部分和具有泵出口的排放部分；框架；固定涡旋板，其固定到框架并且包括固定板，固定板包括至少一个固定涡旋叶片；绕动涡旋板，其包括绕动板，绕动板包括从绕动板的前侧朝向固定板轴向突出的至少一个绕动涡旋叶片；驱动机构，其由框架支撑并且可操作地连接到绕动涡旋板，以使得绕动涡旋板围绕真空涡旋泵的纵向轴线绕动并且从而泵送过程气体；双面推力轴承，其支撑绕动涡旋板；和波纹管，其将过程气体与驱动机构隔离。
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公开(公告)号：CN113728164A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201980095722.0
申请日：2019-04-30
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 罗纳德·J·弗尼
Abstract: 一种真空涡旋泵，包括：具有泵入口的入口部分和具有泵出口的排放部分；框架；固定涡旋板，其固定到框架并且包括固定板，固定板包括至少一个固定涡旋叶片；绕动涡旋板，其包括绕动板，绕动板包括从绕动板的前侧朝向固定板轴向突出的至少一个绕动涡旋叶片；驱动机构，其由框架支撑并且可操作地连接到绕动涡旋板，以使得绕动涡旋板围绕真空涡旋泵的纵向轴线绕动并且从而泵送过程气体；双面推力轴承，其支撑绕动涡旋板；和波纹管，其将过程气体与驱动机构隔离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118140387A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202180103017.8
申请日：2021-10-22
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 罗纳德·J·弗尼
Abstract: 磁耦合组件包括热隔离系统，该热隔离系统将组件与热源(比如耦合到组件的从动侧的泵)隔离，从而使得组件能够在降低的温度下操作。该系统可以包括迷宫式密封件，其减少到组件的对流热传递。密封件可以包括在转动部件和固定部件之间限定的密封间隙。该间隙的大小被设计成限制通过间隙的气体传导。该系统还可以包括一个或多个间隔件，其定位成减少或消除从一个部件到另一部件的传导热传递。该组件可以用在泵中，以用于将电机轴非接触地耦合至泵轴。
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公开(公告)号：CN107795708A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710647670.6
申请日：2017-08-01
Applicant: 安捷伦科技有限公司
CPC classification number: F04C28/24 , F04C18/0215 , F04C18/126 , F04C18/30 , F04C23/005 , F04C25/02 , F04C28/28 , F04C29/12 , F04C2220/10 , F04C2240/40 , F16K7/17 , F04C29/124 , F16K31/42
Abstract: 本发明公开一种密封真空泵隔离阀。真空泵隔离VPI阀置于真空泵和真空室之间。在真空泵正常操作期间，VPI阀打开，从而允许真空泵和真空室之间的流体连通。当真空泵例如由于断电变得不可操作时，VPI阀关闭，从而将真空室与真空泵隔离。VPI阀的关闭由真空泵的排气压力驱动。VPI阀由于导向阀的打开而暴露于排气压力下，该导向阀的打开可以由于真空泵停止操作而发生。通过该构造，VPI阀密封并且其操作无需环境空气。
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公开(公告)号：CN113629974A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110490753.5
申请日：2021-05-06
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 罗纳德·J·弗尼
Abstract: 本申请公开了一种具有抵消力的气隙磁耦合器，其中磁耦合组件包括第一平衡磁体和跨过间隙的第二平衡磁体，第一平衡磁体定位并且环绕驱动磁体，第二平衡磁体定位并且环绕从动磁体。驱动磁体在转动时驱动从动磁体转动。平衡磁体生成抵消由驱动磁体和从动磁体生成的吸引力的排斥力。该组件可以用于泵中，以将电机轴无接触地耦合到泵轴。该组件的从动侧可以被气密密封，比如利用在间隙中插入的液晶聚合物边界等。
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公开(公告)号：CN104343676B
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201410306269.2
申请日：2014-06-30
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 罗纳德·J·弗尼
CPC classification number: F04C27/006 , F01C17/00 , F01C21/102 , F04C18/0215 , F04C27/005 , F04C29/0021
Abstract: 本发明提供了一种轴向柔度绕转板式涡旋件及包括该涡旋件的涡旋泵。涡旋泵(100)的绕转板式涡旋件(230)包括绕转板(230)，其具有第一侧面和第二侧面；绕转涡旋叶片(221)，其沿轴向从绕转板(230)的第一侧面突出；以及弯曲部(500)，该弯曲部的柔度在轴向上。弯曲部(500)在绕转板(230)的第二侧面连接到绕转板(230)，并且将绕转板(230)和绕转涡旋叶片(221)连接到轴承(246)，该轴承允许绕转板式涡旋件(230)围绕纵轴自由旋转，并且限制绕转板式涡旋件(230)在其它自由度上的运动。
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公开(公告)号：CN104343676A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410306269.2
申请日：2014-06-30
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Inventor： 罗纳德·J·弗尼
CPC classification number: F04C27/006 , F01C17/00 , F01C21/102 , F04C18/0215 , F04C27/005 , F04C29/0021
Abstract: 本发明提供了一种轴向柔度绕转板式涡旋件及包括该涡旋件的涡旋泵。涡旋泵(100)的绕转板式涡旋件(230)包括绕转板(230)，其具有第一侧面和第二侧面；绕转涡旋叶片(221)，其沿轴向从绕转板(230)的第一侧面突出；以及弯曲部(500)，该弯曲部的柔度在轴向上。弯曲部(500)在绕转板(230)的第二侧面连接到绕转板(230)，并且将绕转板(230)和绕转涡旋叶片(221)连接到轴承(246)，该轴承允许绕转板式涡旋件(230)围绕纵轴自由旋转，并且限制绕转板式涡旋件(230)在其它自由度上的运动。
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