轴向磁离子源及相关电离方法

    公开(公告)号:CN104241076B

    公开(公告)日:2018-06-15

    申请号:CN201410222709.6

    申请日:2014-05-23

    CPC classification number: H01J27/024 H01J27/205 H01J49/147

    Abstract: 一种离子源,其配置成用于电子电离并产生同轴的电子和离子束。该离子源包括沿轴线的电离室、配置成用于在所述电离室中产生轴向磁场的磁体组件、电子源、以及透镜组件,其配置成用于沿着轴线将离子束从电离室引出,朝向电子源将电子束反射回,以及将更高能量的离子从离子源传送出同时朝向透镜元件反射更低能量的离子进行中和。

    轴向磁离子源及相关电离方法

    公开(公告)号:CN104241076A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410222709.6

    申请日:2014-05-23

    CPC classification number: H01J27/024 H01J27/205 H01J49/147

    Abstract: 一种离子源,其配置成用于电子电离并产生同轴的电子和离子束。该离子源包括沿轴线的电离室、配置成用于在所述电离室中产生轴向磁场的磁体组件、电子源、以及透镜组件,其配置成用于沿着轴线将离子束从电离室引出,朝向电子源将电子束反射回,以及将更高能量的离子从离子源传送出同时朝向透镜元件反射更低能量的离子进行中和。

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