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公开(公告)号:CN111328292B
公开(公告)日:2022-07-22
申请号:CN201880072954.X
申请日:2018-10-22
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Abstract: 一种过滤器包括入口侧、出口侧和主体。所述主体包括第一基板和第二基板,所述第一基板包括穿过所述第一基板的入口孔阵列,并且所述第二基板包括穿过所述第二基板的出口孔阵列。所述主体进一步包括中间区,所述中间区包括多个通道,所述多个通道沿横向于所述过滤器的主轴线或与所述主轴线成一定角度的平面延伸。每个通道与所述入口孔中的至少一个入口孔和所述出口孔中的至少一个出口孔直接或间接连通。所述过滤器提供从所述入口侧穿过所述主体到所述出口侧的多个流体流动路径。
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公开(公告)号:CN111328292A
公开(公告)日:2020-06-23
申请号:CN201880072954.X
申请日:2018-10-22
Applicant: 安捷伦科技有限公司
Abstract: 一种过滤器包括入口侧、出口侧和主体。所述主体包括第一基板和第二基板,所述第一基板包括穿过所述第一基板的入口孔阵列,并且所述第二基板包括穿过所述第二基板的出口孔阵列。所述主体进一步包括中间区,所述中间区包括多个通道,所述多个通道沿横向于所述过滤器的主轴线或与所述主轴线成一定角度的平面延伸。每个通道与所述入口孔中的至少一个入口孔和所述出口孔中的至少一个出口孔直接或间接连通。所述过滤器提供从所述入口侧穿过所述主体到所述出口侧的多个流体流动路径。
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