用于高洁净度作业空间的防护型输送机构

    公开(公告)号:CN105731014B

    公开(公告)日:2017-09-15

    申请号:CN201610212089.7

    申请日:2016-04-07

    发明人: 吴功 郑君强

    IPC分类号: B65G35/00

    摘要: 一种用于高洁净度作业空间的防护型输送机构,克服了现有直角坐标机器人无法满足用于高洁净度作业空间要求的缺陷,其技术要点是:采用了密封和负压吸附相结合的独特结构,即以防尘带封闭直线电机的动子及与定位支承连接板组装在一起的外接备用固定板运动需要的通道开口,把基体内腔形成封闭腔体,将驱动主体全部封装在基体腔体内,通过与外部负压源连通的封闭腔体内的负压吸附作用,使产生的气流有序地流动,通过封闭腔体内相对应的排气口排出,确保各运动单元所产生的微尘不泄露出基体的封闭腔体。其结构设计合理,运动单元产生的微尘不外溢,避免了污染周围环境和物料,作业范围广,运行速度快、定位精度高,能满足各种高洁净度作业空间的要求。

    用于高洁净度作业空间的防护型输送机构

    公开(公告)号:CN105731014A

    公开(公告)日:2016-07-06

    申请号:CN201610212089.7

    申请日:2016-04-07

    发明人: 吴功 郑君强

    IPC分类号: B65G35/00

    CPC分类号: B65G35/00 B65G2207/26

    摘要: 一种用于高洁净度作业空间的防护型输送机构,克服了现有直角坐标机器人无法满足用于高洁净度作业空间要求的缺陷,其技术要点是:采用了密封和负压吸附相结合的独特结构,即以防尘带封闭直线电机的动子及与定位支承连接板组装在一起的外接备用固定板运动需要的通道开口,把基体内腔形成封闭腔体,将驱动主体全部封装在基体腔体内,通过与外部负压源连通的封闭腔体内的负压吸附作用,使产生的气流有序地流动,通过封闭腔体内相对应的排气口排出,确保各运动单元所产生的微尘不泄露出基体的封闭腔体。其结构设计合理,运动单元产生的微尘不外溢,避免了污染周围环境和物料,作业范围广,运行速度快、定位精度高,能满足各种高洁净度作业空间的要求。

    批量传输薄基片的伯努利式端拾器

    公开(公告)号:CN102753312B

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201180004961.4

    申请日:2011-07-05

    IPC分类号: B25J15/00 B25J15/06

    摘要: 一种用于同时传输一批基体的端接器。该端拾器包括一组并列的基体夹持器,其特征是在相邻对的夹持器之间不超过6.00毫米的一间距。每个夹持器有一接触面,注入一股气流沿着该接触面的开槽射出,使一基体变成贴着该接触面被夹持。由于两个相邻基体夹持器有紧密的间隔,开槽必须很浅。开槽的特征为进入接触面的一凹槽深度是在2.00毫米至2.40毫米之间。替换地,开槽的特征为在接触面的一凹槽宽度系比它进入该基体夹持器之该接触面的凹槽深度至少大3倍。

    用于高洁净度作业空间的防护型输送机构

    公开(公告)号:CN205526376U

    公开(公告)日:2016-08-31

    申请号:CN201620282670.1

    申请日:2016-04-07

    发明人: 吴功 郑君强

    IPC分类号: B65G35/00

    摘要: 一种用于高洁净度作业空间的防护型输送机构,克服了现有直角坐标机器人无法满足用于高洁净度作业空间要求的缺陷,其技术要点是:采用了密封和负压吸附相结合的独特结构,即以防尘带封闭直线电机的动子及与定位支承连接板组装在一起的外接备用固定板运动需要的通道开口,把基体内腔形成封闭腔体,将驱动主体全部封装在基体腔体内,通过与外部负压源连通的封闭腔体内的负压吸附作用,使产生的气流有序地流动,通过封闭腔体内相对应的排气口排出,确保各运动单元所产生的微尘不泄露出基体的封闭腔体。其结构设计合理,运动单元产生的微尘不外溢,避免了污染周围环境和物料,作业范围广,运行速度快、定位精度高,能满足各种高洁净度作业空间的要求。