公开(公告)号：CN1449510A

公开(公告)日：2003-10-15

申请号：CN01814961.8

申请日：2001-08-24

申请人： 尤尼瑟驰有限公司

发明人： 罗尔夫勃伦纳 ,  蒂罗马克思布勒 ,  罗伯特格莱汉姆克拉克 ,  安德鲁史蒂夫德祖瑞克 ,  亚历山大鲁道夫哈密尔顿 ,  南希爱琳伦普金 ,  瑞达帕蒂萨米金侬

IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/266 ,  H01L21/3105 ,  G01N1/00

CPC分类号： G06N99/002 ,  B82Y10/00 ,  H01L21/266 ,  H01L29/66439 ,  H01L49/006

摘要： 用一个或多于一个的抗蚀剂层涂覆一个硅基片。顺序曝光第一和第二电路图形，其中第二图形与第一图形交迭。对图形化抗蚀剂层进行显影，以打开仅在图形相互交迭位置向下延伸到基片的孔。这些孔提供了适用于将单个磷离子注入到用于固态量子计算机的基片中的掩模。抗蚀剂层的进一步显影提供了一个用于对准磷离子的诸如单电子晶体管的纳米电子电路的沉积的掩模。

公开(公告)号：CN1449359A

公开(公告)日：2003-10-15

申请号：CN01814960.X

申请日：2001-08-24

申请人： 尤尼瑟驰有限公司

发明人： 罗伯特格雷姆克拉克 ,  安德鲁史蒂夫德祖瑞克 ,  杰利梅罗德欧布莱恩 ,  史蒂夫里查德斯科菲尔德 ,  米切尔尤文西蒙斯

IPC分类号： B82B3/00 ,  H01L21/3213 ,  G06N1/00

CPC分类号： H01L21/306 ,  G01Q80/00 ,  G06N10/00

摘要： 利用一个STM尖端从一个硅基片上的氢端接层解吸单个氢原子，以形成一个暴露区的图形。在各个暴露区上吸附一个单个的含施主分子(例如磷化氢)，以形成一个施主原子(例如磷原子)的阵列。可以将施主原子的自旋用作固态量子计算机中的量子位。

公开(公告)号：CN1205113C

公开(公告)日：2005-06-08

申请号：CN01814960.X

申请日：2001-08-24

申请人： 尤尼瑟驰有限公司

发明人： 罗伯特格雷姆克拉克 ,  安德鲁史蒂夫德祖瑞克 ,  杰利梅罗德欧布莱恩 ,  史蒂夫里查德斯科菲尔德 ,  米切尔尤文西蒙斯

IPC分类号： B82B3/00 ,  H01L21/3213 ,  G06N1/00

CPC分类号： H01L21/306 ,  G01Q80/00 ,  G06N10/00

摘要： 利用一个STM尖端从一个硅基片上的氢端接层解吸单个氢原子，以形成一个暴露区的图形。在各个暴露区上吸附一个单个的含施主分子(例如磷化氢)，以形成一个施主原子(例如磷原子)的阵列。可以将施主原子的自旋用作固态量子计算机中的量子位。