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公开(公告)号：CN114836721A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210439860.X
申请日：2022-04-25
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于水平横置的陶瓷点源，属于点蒸发源技术领域，包括法兰盘，法兰盘一侧设有冷却筒，冷却筒内部设有加热部件，坩埚位于加热部件内，加热部件外部设有热电偶，冷却筒内设有循环冷却水，加热部件为陶瓷复合加热器，加热部件上开设通槽，加热部件外部设有支撑环，支撑环内侧设有支撑弧台，支撑弧台顶部穿过通槽，形成对坩埚埚身的支撑。本发明采用贯穿陶瓷复合加热器的支撑环组件，将坩埚负载从陶瓷复合加热器转移到金属反射筒上，提高了陶瓷复合加热器的使用寿命，实现对坩埚的支撑定位，满足点源以水平横置方式进行蒸镀的工艺要求。
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公开(公告)号：CN110303428B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201910571791.6
申请日：2019-06-28
申请人： 山东国晶新材料有限公司
IPC分类号： B24B41/06
摘要： 本发明涉及一种陶瓷薄壁套筒零件定心夹紧装置及其工作方法，属于陶瓷零件机械加工领域，包括基体轴、位于基体轴两端的动锥体和胀紧锥套，胀紧锥套和动锥体的数量均为两个，在夹持轴上和顶轴上依次套设有一个胀紧锥套和一个动锥体，动锥体通过螺纹连接在夹持轴和顶轴上，胀紧锥套与基体轴的端板靠近，胀紧锥套上设置有朝向动锥体倾斜的第一锥面，动锥体上设置有第二锥面，通过旋紧两端的动锥体挤压胀紧锥套实现胀紧动作；顶轴端部设置有中心孔；筒结构外表面设置有软体材料，软体材料与陶瓷薄壁套筒零件的内壁之间有间隙。该装置重量轻、降低成本，且不损伤内孔表面，该发明的定心夹紧装置可以应用于两端内径不同的陶瓷薄壁套筒零件。
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公开(公告)号：CN112264649A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202010920015.5
申请日：2020-09-04
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种扇型夹持杆的加工方法，属于螺旋线行波管技术领域。操作步骤如下：(1)利用刀具将毛坯料加工成长条形；(2)对毛坯料六面进行高速铣削；(3)利用拉销刀具将扇形夹持杆上的大圆弧面加工成型；(4)将扇形夹持杆的两个斜面加工成型；(5)利用刀具将毛坯料超出扇形夹持杆的高度部分铣掉；(6)将扇形夹持杆的小圆弧面加工成型。本发明通过铣床配合夹具和刀具加工扇形夹持杆，满足扇形夹持杆高精度的加工要求，提高加工效率，降低成本。
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公开(公告)号：CN112264648A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202010920011.7
申请日：2020-09-04
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种T型夹持杆的加工方法，该方法包括1)先利用刀具切削出长方体形氮化硼毛坯；2)将毛坯安装在铣床上，利用磨削刀具对毛坯的六个面磨削铣平加工出T型面，加工过程中要先加工台阶面，再加工两侧面；3)将加工出T型面的毛坯上下颠倒，再次安装在铣床上，利用铣床磨具将高度方向的余量磨削掉，得到最终的T型夹持杆成品。本发明T型夹持杆的加工方法，实现了夹持杆加工的国产化，同时保证了加工精度要求，实现慢波电路的可靠装配。利用铣床磨削刀具进行高速切削加工，具备可靠优良的加工效果，同时加工效率高，加工成本低。
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公开(公告)号：CN111981857A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010704497.0
申请日：2020-07-21
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种CVD炉快速降温的装置及方法，包括液氮罐、流量控制器、阀门、压力传感器、温度传感器和PLC控制器；液氮罐通过输入管依次连接流量控制器、阀门及CVD炉炉壳夹层的输入口，压力传感器设置在CVD炉炉壳夹层的安装口上，温度传感器设置在CVD炉炉壳夹层的顶部，压力传感器、温度传感器和流量控制器分别与PLC控制器连接。本发明的方法采用液氮降温，液氮温度为-196℃，在气化过程中会吸收大量的热，相比较常温循环水(25℃)，能够更快速的带走CVD炉内辐射出的热量；采用本发明方法可使CVD炉内温度降到100℃以下的降温时间缩短了1-2倍。
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公开(公告)号：CN111945129A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010714399.5
申请日：2020-07-22
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种用于真空炉石墨部件的防护方法，该防护方法包括：1)对石墨部件进行抛光打磨，使石墨部件的表面粗糙度达到0.5mm以下；2)将抛光打磨后的石墨部件放入CVD炉内；3)设定CVD炉内的温度和压力，向CVD炉内通入甲烷和氮气或者通入三氯化硼、氨气和惰性气体，最终在石墨部件表面沉积一层热解石墨涂层或热解氮化硼涂层。本发明通过在石墨部件表面涂覆一层热解石墨或热解氮化硼涂层，一方面可以防止石墨粉尘挥发出来污染反应腔室，从而提高产品的纯净度；另一方面可以保护石墨部件，延长石墨部件的使用寿命，降低企业成本。
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公开(公告)号：CN111807841A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010627023.0
申请日：2020-07-02
申请人： 山东国晶新材料有限公司
IPC分类号： C04B35/563 , C04B35/622
摘要： 本发明涉及一种碳化硼陶瓷的制备方法。该方法包括采用化学气相沉积，以氮气作为保护稀释气体，以甲烷和气态BCl3为反应气体，反应温度控制在1500～2000℃之间，压力控制在200～1000Pa之间，在基体模具上形成碳化硼陶瓷制品。本发明通过控制反应温度来获得对应密度的碳化硼材料，提高了材料性质的可控性。在较高温度下获得碳化硼密度可达2.5g/cm3。本发明碳化硼材料的纯度为99.95-99.99％。
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公开(公告)号：CN110016652A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910292057.6
申请日：2019-04-12
申请人： 山东国晶新材料有限公司
IPC分类号： C23C16/34 , C23C16/455 , H01J9/00
摘要： 本发明涉及一种用于制作夹持杆的热解氮化硼板材的制备方法及其应用，属于化学气相沉积技术领域，包括(1)设计板材的模具，材质为石墨，形状为长方体，模具的长宽面和侧面上均开设有多条均匀分布的凹槽(2)将模具打磨，使得表面粗糙度Ra在0.5～4mm之间；(3)将打磨好的模具装入CVD反应炉内竖直悬挂，将模具沿中心位置旋转，在温度1850～2100℃，压力30～300Pa条件下，以氮气作为载气，将NH3：BCl3按流量比为1：1～10：1的比例通入到反应炉内，进行热解氮化硼板材的沉积；(4)进行控温降温，热解氮化硼板材出炉，加工成加持杆。本发明的制备方法得到的板材，具有低翘曲、层结构规整且连续的优点。
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公开(公告)号：CN109987957A
公开(公告)日：2019-07-09
申请号：CN201711476150.X
申请日：2017-12-29
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种碳陶复合材料火箭发动机喷管喉衬的制造方法，属于碳纤维复合材料制备技术领域，包括步骤如下：制备碳纤维预制体；将碳纤维预制体装入真空感应炉中，炉内抽真空后充入第一种保护气，使用天然气和丙烷作为碳源气体在指定温度下进行化学气相沉积，得到碳/碳坯体；将碳/碳坯体装入真空高温热处理炉中，炉内抽真空后充入第二种保护气，在设定温度下对坯体进行热处理；利用机械加工处理热处理后的坯体表面，再按照设定的图纸要求进行加工，得到碳陶复合材料喷管喉衬的半成品；将硅粉熔融浸渗喉衬半成品；进行最终加工，所得喉衬密度低、热膨胀系数低、韧性好、抗热震性能好，提高了喉衬材料的可靠性，可以满足火箭发射的要求。
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公开(公告)号：CN110572889B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201910998161.7
申请日：2019-10-21
申请人： 山东国晶新材料有限公司
摘要： 本发明涉及一种制备内CVD沉积立体式复合陶瓷加热器的方法，属于加热器技术领域，加热器包含PBN基体、PG涂层电路以及PBN涂层保护层；通过化学气相沉积制备PBN基体，再在PBN基体内表面沉积PG涂层，通过雕刻PG涂层制备电路，再沉积PBN涂层保护层，最终得到内表面加热的加热器，大幅度提高加热器加热的均匀性，热量损失小，耗能低。
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