一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置及其应用

    公开(公告)号:CN110333191A

    公开(公告)日:2019-10-15

    申请号:CN201910596122.4

    申请日:2019-07-03

    申请人: 山东大学

    摘要: 本发明公开了一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置及其应用,所述光谱磁光椭偏分析装置包括光源模块、光路模块、磁场模块、样品台、电机控制模块、探测及分析模块,所述光路模块包括准直镜、起偏器、补偿器、检偏器,所述探测及分析模块包括计算机和探测器,所述准直镜、起偏器、补偿器、样品台、检偏器和探测器沿光路方向依次设置,起偏器、补偿器位于入射光路,检偏器位于出射光路,所述入射光路和出射光路位于所述样品台的两侧,且与样品台法线的夹角均为φ。本发明可以在纵向或极向磁光克尔效应下对磁性薄膜材料的光学和磁学参数进行表征,在一次测试中可以得到磁性薄膜样品的厚度、光学参数、磁学参数,自动化程度较高。

    一种对薄膜样品进行微区磁光椭偏光谱分析的装置及其应用

    公开(公告)号:CN108801932A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810842624.6

    申请日:2018-07-27

    申请人: 山东大学

    IPC分类号: G01N21/21

    CPC分类号: G01N21/211 G01N2021/213

    摘要: 本发明涉及一种对薄膜样品进行微区磁光椭偏光谱分析的装置及其应用。本发明所述装置包括光源模块、起偏模块、样品台、磁场模块、检偏模块、探测及分析模块和电机控制模块。通过使用氙灯光源加单色仪的组合来实现光谱磁光椭偏分析,光谱测量范围为300nm‑800nm,精确度为0.2nm,重复性为0.1nm;使用准直镜和成像单元以及CCD实现接收整个光斑范围内样品各个微区的光强信息,光斑直径为3mm,可分辨的最小微区直径为2um,CCD的每个像素点都与样品的不同微区相对应,通过分析CCD各个像素点的光强信息实现对样品表面光斑范围内所有微区的磁光椭偏分析。

    一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置及其应用

    公开(公告)号:CN110333191B

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN201910596122.4

    申请日:2019-07-03

    申请人: 山东大学

    摘要: 本发明公开了一种旋转补偿器的光谱磁光椭偏分析装置及其应用,所述光谱磁光椭偏分析装置包括光源模块、光路模块、磁场模块、样品台、电机控制模块、探测及分析模块,所述光路模块包括准直镜、起偏器、补偿器、检偏器,所述探测及分析模块包括计算机和探测器,所述准直镜、起偏器、补偿器、样品台、检偏器和探测器沿光路方向依次设置,起偏器、补偿器位于入射光路,检偏器位于出射光路,所述入射光路和出射光路位于所述样品台的两侧,且与样品台法线的夹角均为φ。本发明可以在纵向或极向磁光克尔效应下对磁性薄膜材料的光学和磁学参数进行表征,在一次测试中可以得到磁性薄膜样品的厚度、光学参数、磁学参数,自动化程度较高。