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公开(公告)号：CN114526419A
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202210031681.2
申请日：2022-01-12
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明涉及一种单自由度偏摆平台，包括通过预紧机构连接的驱动机构和偏摆机构，偏摆机构包括平行布置的顶板和底板，驱动机构位于顶板和底板之间的空间，驱动机构两端与驱动固定单元连接，驱动机构两侧设有柔性放大单元和柔性缩小单元，两柔性单元分别位于两组驱动固定单元之间；两柔性单元均具有至少两组，每一组柔性放大单元和柔性缩小单元均包括两组倾斜布置形成开口的弹性梁和纵向布置位于开口中部的中梁，两弹性梁均与对应的驱动固定单元连接；通过驱动机构带动两驱动固定单元相互远离或靠近，通过两弹性梁使柔性放大单元的中梁推动或拉动顶板，同时柔性缩小单元的中梁拉动或推动顶板，从而实现顶板的偏摆运动。
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公开(公告)号：CN115476326A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202211156845.0
申请日：2022-09-22
Applicant: 山东大学
IPC: B25H1/18
Abstract: 本发明公开了一种基于粘滑驱动原理的三自由度精密定位平台，包括底座，沿着底座的径向方向设置三个粘滑驱动模块，所述的粘滑驱动模块各设有一个主动运动模块，在每个主动运动模块上设置有一个倾斜设置的被动运动模块，三个被动运动模块的倾斜角度相同，在每个被动运动模块上设置一个球形铰链，三个球形铰链与同一个样品放置平台连接。本发明中的三个主动运动模块采用并联结构设计，具有刚度大，负载能力强，累计误差小的优点，有效的提高了精密定位平台的定位精度。
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公开(公告)号：CN114526419B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210031681.2
申请日：2022-01-12
Applicant: 山东大学
Abstract: 本发明涉及一种单自由度偏摆平台，包括通过预紧机构连接的驱动机构和偏摆机构，偏摆机构包括平行布置的顶板和底板，驱动机构位于顶板和底板之间的空间，驱动机构两端与驱动固定单元连接，驱动机构两侧设有柔性放大单元和柔性缩小单元，两柔性单元分别位于两组驱动固定单元之间；两柔性单元均具有至少两组，每一组柔性放大单元和柔性缩小单元均包括两组倾斜布置形成开口的弹性梁和纵向布置位于开口中部的中梁，两弹性梁均与对应的驱动固定单元连接；通过驱动机构带动两驱动固定单元相互远离或靠近，通过两弹性梁使柔性放大单元的中梁推动或拉动顶板，同时柔性缩小单元的中梁拉动或推动顶板，从而实现顶板的偏摆运动。
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