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发明公开
多方向亚波长金属光栅偏振器阵列加工方法以及加工系统无效

公开(公告)号：CN112433289A

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN202011465859.1

申请日：2020-12-14

申请人： 山东理工大学

发明人： 王志文 , 孙旭辉 , 田文涛 , 刘炜程 , 郑宏宇

IPC分类号： G02B5/30

摘要： 多方向亚波长金属光栅偏振器阵列加工方法以及加工系统，属于激光加工技术领域。本发明利用脉冲激光烧蚀单层亚波长金属光栅表面，使其形成单方向的偏振器阵列并均匀分布在塑料基底上。通过调节阵列大小和激光参数获得理想的单层亚波长金属光栅阵列。利用旋涂法将UV胶涂在单层亚波长金属光栅阵列的表面，然后多层亚波长金属光栅阵列按不同的方向对准粘贴在一起，实现多方向偏振光栅阵列的制备。同时UV胶还起到补偿偏振器塑料基体上加工缺陷的作用，改善多方向亚波长金属光栅的透射率。本发明提出的加工方法可以实现多方向亚波长金属光栅偏振器的加工制造。