公开(公告)号：CN1129994A

公开(公告)日：1996-08-28

申请号：CN95190581.3

申请日：1995-06-27

Applicant: 工程吸气公司

Inventor： C·卡列逖 ,  B·佛拉里奥

IPC: H01J29/94

CPC classification number: H01J7/183 ,  H01J7/18 ,  H01J29/94 ,  H01J2201/30403 ,  H01J2329/00

Abstract: 公开了一种在FED内产生与保持基本上无氧化性气体并包含10-7～10-3mbar压力氢气的受控气氛的方法，该方法包括以下步骤：在熔封以前将负载有氢气的吸气剂放入FED内。随后，沿着组成FED的两个部件的边缘进行熔封，在该操作期间或以后，通过适宜安装的尾部对FED本身进行抽气，在抽空后通过“熔下”操作气密地封装该尾部。通过将吸气剂曝露于10-4～2bar压力的氢气中使吸气剂负载氢气。

公开(公告)号：CN1086505C

公开(公告)日：2002-06-19

申请号：CN95190581.3

申请日：1995-06-27

Applicant: 工程吸气公司

Inventor： C·卡列逖 ,  B·佛拉里奥

IPC: H01J9/39 ,  H01J29/94

CPC classification number: H01J7/183 ,  H01J7/18 ,  H01J29/94 ,  H01J2201/30403 ,  H01J2329/00

Abstract: 公开了一种在FED内产生与保持基本上无氧化性气体并包含10-5～10-1Pa 压力氢气的受控气氛的方法，该方法包括以下步骤：在熔封以前将负载有氢气的吸气剂放入FED内。随后，沿着组成FED的两个部件的边缘进行熔封，在该操作期间或以后，通过适宜安装的尾部对FED本身进行抽气，在抽空后通过“熔下”操作气密地封装该尾部。通过将吸气剂曝露于10-4～2×105Pa压力的氢气中使吸气剂负载氢气。