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公开(公告)号:CN104204161B
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201380016747.X
申请日:2013-02-01
申请人: 巴斯夫欧洲公司
发明人: H-P·泽尔曼-埃格贝特 , S·迈特罗-沃格尔 , E-M·赖斯-瓦尔特 , J·本特勒 , L·阿尔韦伯恩-扬松
IPC分类号: C10M107/34 , H01L21/304 , C10N40/22
CPC分类号: C10M107/34 , B28D5/0076 , C10M2209/108 , C10M2209/1085 , C10N2240/401 , C10M2209/107
摘要: 本发明涉及改性的聚二醇在生产冷却和/或润滑流体中的用途、新的冷却和/或润滑流体、冷却和/或润滑流体在物质移除,尤其是在切割晶片中的用途,以及使用切割流体生产的晶片。
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公开(公告)号:CN104204161A
公开(公告)日:2014-12-10
申请号:CN201380016747.X
申请日:2013-02-01
申请人: 巴斯夫欧洲公司
发明人: H-P·泽尔曼-埃格贝特 , S·迈特罗-沃格尔 , E-M·赖斯-瓦尔特 , J·本特勒 , L·阿尔韦伯恩-扬松
IPC分类号: C10M107/34 , H01L21/304 , C10N40/22
CPC分类号: C10M107/34 , B28D5/0076 , C10M2209/108 , C10M2209/1085 , C10N2240/401 , C10M2209/107
摘要: 本发明涉及改性的聚二醇在生产冷却和/或润滑流体中的用途、新的冷却和/或润滑流体、冷却和/或润滑流体在物质移除,尤其是在切割晶片中的用途,以及使用切割流体生产的晶片。
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