公开(公告)号：CN109690379A

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：CN201780055764.2

申请日：2017-09-06

申请人： 巴西能源与材料研究中心

发明人： R·拉马略 ,  赫拉尔德斯 ,  R·马拉戈迪 ,  卡利亚里 ,  M·萨韦里 ,  席尔瓦

IPC分类号： G02B7/182 ,  G02B26/08 ,  G21K1/06

CPC分类号： G02B7/182 ,  G02B26/08 ,  G21K1/06

摘要： 一种用于在光束线中移动和定位光学元件(3)的仪器，包括安装结构(2)，一个(或多个)光学元件(3)安装在所述安装结构(2)上，还包括参考结构(1)，所述安装结构(2)直接或间接地安装到所述参考结构上，所述安装结构(2)通过具有低机械刚度的移动装置(4)移动，并且相对于所述参考结构(1)的位置通过位置检测装置(6)以高分辨率测量。所述仪器还包括反应质量(5)，用于接收来自所述安装结构(2)的所述移动装置(4)施加的力的反应。结构元件通过具有特定刚性特征的弹性装置(/1和/2)连接，使得前述的位置控制在具有带宽超过100HZ的闭环中作用。所述仪器还用于定位用于同步加速器光源光束线的双晶单色仪。