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发明公开
由前体单体沉积氟化层的方法无效

公开(公告)号：CN101821020A

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：CN200880110572.8

申请日：2008-09-05

申请人： 布鲁塞尔大学

发明人： 弗朗索瓦·雷尼尔 , 尼古拉斯·范登卡斯蒂尔 , 奥利维耶·布里

IPC分类号： B05D7/24 , B05D5/08

CPC分类号： B05D1/62 , B05D5/083

摘要： 本发明涉及一种在基材上沉积氟化层的方法，所述方法包括在0.8-1.2巴的压力下在低温常压等离子体的放电或后放电区域中注入含有氟化化合物和载气的气体混合物。本发明的特征在于所述氟化化合物在1巴压力下的沸点高于25℃。