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公开(公告)号:CN1297963A
公开(公告)日:2001-06-06
申请号:CN00131000.3
申请日:2000-09-30
Applicant: 希普雷公司
IPC: C08L101/12 , C08K5/541
CPC classification number: C08J9/26 , C08J2201/046 , C08J2383/04 , H05K1/0313 , H05K3/0011 , Y10S438/96
Abstract: 公开了在电子元件制造中有用的具有低介电常数的多孔介电材料,以及制备这种多孔介电材料的方法。还公开了制作含有这种多孔介电材料的集成电路的方法。
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公开(公告)号:CN1181140C
公开(公告)日:2004-12-22
申请号:CN00131000.3
申请日:2000-09-30
Applicant: 希普雷公司
IPC: C08L101/12 , C08K5/541
CPC classification number: C08J9/26 , C08J2201/046 , C08J2383/04 , H05K1/0313 , H05K3/0011 , Y10S438/96
Abstract: 公开了在电子元件制造中有用的具有低介电常数的多孔介电材料,以及制备这种多孔介电材料的方法。还公开了制作含有这种多孔介电材料的集成电路的方法。
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