公开(公告)号：CN107858636A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201711002485.8

申请日：2017-10-24

申请人： 常州大学

发明人： 苏旭平 ,  严靖钰 ,  王建华 ,  涂浩 ,  刘亚 ,  吴长军 ,  彭浩平

IPC分类号： C23C8/62 ,  C23C8/02

CPC分类号： C23C8/62 ,  C23C8/02

摘要： 本发明属于表面涂层涂覆技术，特指粉堆控制氧压制备Al2O3和Cr2O3薄膜的方法。本发明利用了一种新粉堆Fe-FeO来控制氧压，在低氧压下以很少的添加元素制备Al2O3和Cr2O3薄膜，调节氧压可以得到纯Al2O3或Cr2O3或两者的混合，远远少于在大气中制备Al2O3和Cr2O3薄膜所需添加的Al、Cr含量。相比于通入气体控制氧压，更安全节约。这种粉堆成分也不会蒸发，蒸镀在合金表面与基体发生相变。