一种氟硅改性聚氨酯光刻胶及其制备方法

    公开(公告)号:CN116991036A

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202311042997.2

    申请日:2023-08-18

    申请人: 常州大学

    IPC分类号: G03F7/004 C08G18/61

    摘要: 本发明属于光刻胶制备技术领域,具体涉及一种氟硅改性聚氨酯光刻胶及其制备方法。首先将2,5二羟苯基氧化膦与含氟羧酸单体反应得到光引发剂,用于提高光刻胶对紫外光的感光性能和捕获能力。其次将封端聚二甲基硅氧烷、异氰酸酯、含氟扩链剂和含丙烯酸酯封端剂逐步聚合,最后将二者与活性稀释剂混合制备得到氟硅改性聚氨酯光刻胶,可实现其在多波段紫外光发生基团聚合反应。本发明氟硅改性聚氨酯光刻胶具有高灵敏感光性、储存周期长、反应条件温和。主要适用于优良光刻胶制造,芯片生产等行业,制备流程简单环保,利于改善含氟光刻胶的稳定性以及感光性能。

    一种生物基光调控可拆卸减粘胶及其制备方法

    公开(公告)号:CN116790219A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310756240.3

    申请日:2023-06-26

    申请人: 常州大学

    摘要: 本发明属于减粘胶的制备技术领域,具体涉及一种生物基光调控可拆卸减粘胶及其制备方法。通过香豆素单体可逆光环化反应制备香豆素扩链剂,而后与多元醇与异氰酸酯合成的预聚体进行扩链反应,合成光调控可拆卸的减粘胶基胶。之后,在体系中加入补强填料和硅烷偶联剂使得补强填料在光调控可拆卸的减粘胶中均匀分散,从而保障光调控可拆卸减粘胶的拉伸强度、剥离力、硬度等力学性能。该光调控可拆卸减粘胶可通过固定波段的紫外光照射达到可拆卸的目的,具有粘接强度可控的优势。该光调控可拆卸的减粘胶不仅具备光调控可拆卸的性能,且由生物基原料制备,有利于生态环境的可持续发展,主要适用于晶圆制造加工及芯片制造等行业。