公开(公告)号：CN118208968A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202410450738.1

申请日：2024-04-15

申请人： 常州捷佳创精密机械有限公司

发明人： 邓金生 ,  李美诗 ,  彭亚萍 ,  易炜

IPC分类号： F27D99/00 ,  H01L31/18 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  F27B17/00 ,  F27D1/00 ,  F27D3/12 ,  F27D1/18

摘要： 本发明公开了一种炉管密封结构及炉管，其中上炉盖密封安装在外炉管与内炉管的上端，下炉门密封安装在外炉管的下端，下炉门的中心孔处密封连接有磁流体密封组件，磁流体密封组件的传动轴一端位于炉管密封形成的密闭腔室内，另一端位于密闭腔室外，旋转装置位于密闭腔室内带动载具旋转的传动部件与所述磁流体密封组件的传动轴连接。本发明炉管内的载具可以通过旋转装置带动转动，通过磁流体密封组件对炉管进行密封，使旋转装置的旋转动力源可以外置经磁流体密封组件进行传动，同时保证炉管内的真空环境。