一种胶板一体化粘棒胶水及工艺

    公开(公告)号:CN115746765B

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202211472221.X

    申请日:2022-11-23

    摘要: 本发明提供了一种胶板一体化的粘棒胶水及工艺,属于晶硅的粘棒领域;在本发明中,所述粘棒胶水包括组分A和组分B,所述组分A包括环氧树脂、环氧稀释剂、填料和消泡剂,所述组分B包括固化剂;所述粘棒胶水能够实现不使用塑料板的情况下完成粘棒、切割、脱胶的工艺,实现胶板一体化的目的;所述粘棒胶水进行晶硅粘棒时能够节约2~3h的粘棒工序时间,极大地提高了硅片切割的整体效率。

    硅片制绒产线
    2.
    发明公开
    硅片制绒产线 审中-实审

    公开(公告)号:CN112909133A

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN202110324971.1

    申请日:2021-03-26

    发明人: 马琦雯 邓舜

    IPC分类号: H01L31/18 H01L31/0236

    摘要: 本发明公开了一种硅片制绒产线,包括按先后工序依次设置的:链式氧化炉,第一链式酸洗机,第一插片机,氧化槽,第一清水槽,制绒槽,第二清水槽,第二插片机,第二链式酸洗机,链式烘干炉。本发明在制绒槽前道设置链式氧化炉,可在制绒之前,在链式氧化炉中对硅片进行高温氧化处理,使硅片表面的有机脏污分解,可完全去除硅片表面的有机脏污,可避免因有机脏污残留在硅片表面而使制绒出现白斑、亮点等问题。

    一种脱胶剂及其制备方法与使用方法

    公开(公告)号:CN117645905A

    公开(公告)日:2024-03-05

    申请号:CN202311622048.1

    申请日:2023-11-30

    发明人: 邓舜 马琦雯

    摘要: 本发明公开了一种脱胶剂及其制备方法与使用方法;脱胶剂包括:100~300份有机酸、50~100份有机溶剂、150~250份脱胶加速剂、10~50份表面活性剂A、10~30份表面活性剂B以及300~500份水。制备:S1、室温下,将水和有机酸加入到聚四氟乙烯釜中并搅拌;S2、向上述体系中加有机溶剂,搅拌;再加脱胶加速剂,搅拌;S3、向上述体系中加表面活性剂A,搅拌;再加表面活性剂B,搅拌,完成制备。使用:(1)将脱胶剂和水混合,形成脱胶液;(2)将所述脱胶液添加于脱胶槽中并升温;(3)将硅片置于脱胶槽,进行脱胶处理。本发明通过优化设计的脱胶剂组分,其解决了乳酸脱胶剂气味大的问题,并且使用本发明的脱胶剂还能够提高整片和半片的脱胶效率。

    SE掺杂用掩膜胶及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN114479658B

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202210000180.8

    申请日:2022-01-01

    发明人: 邓舜 马琦雯

    摘要: 本发明公开了一种SE掺杂用掩膜胶及其制备方法和应用。本发明的掩膜胶,按重量份计由以下组分组成:有机硅树脂15~20份,有机溶剂55~65份,绝缘粉末15~20份,耐温粘接剂1~3份,增稠剂1~3份。制备硼掺杂选择性发射极时,在BSG层表面局部沉积本发明的掩膜胶,即可在不去除BSG层的情况下通过高温推进完成制备SE结构,进而可减少工艺步骤,降低成本。

    硅棒切割用光控粘棒胶及其应用
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113563838A

    公开(公告)日:2021-10-29

    申请号:CN202110953324.7

    申请日:2021-08-19

    发明人: 邓舜 马琦雯

    摘要: 本发明公开了一种硅棒切割用光控粘棒胶,包括A组分和B组分;所述A组分由60~90质量份环氧树脂、1~3质量份环氧稀释剂、5~25质量份无机填料、0.5~3质量份触变剂组成;所述B组分由60~90质量份固化剂、10~25质量份无机填料、0.5~2质量份触变剂、2~5质量份光引发剂、0.1~1质量份色母组成。本发明粘棒胶在操作现场能根据生产需求控制其操作时间,操作窗口大,适用于自动粘棒制程。

    硅片制绒工艺
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113066903A

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN202110325033.3

    申请日:2021-03-26

    发明人: 邓舜 马琦雯

    IPC分类号: H01L31/18 H01L31/0236

    摘要: 本发明公开了一种硅片制绒工艺,在制绒之前,对硅片进行高温处理,使硅片表面的有机脏污分解,可完全去除硅片表面的有机脏污,可避免因有机脏污残留在硅片表面而使制绒出现白斑、亮点等问题。

    晶硅切割液及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN112779079A

    公开(公告)日:2021-05-11

    申请号:CN202110175428.X

    申请日:2021-02-09

    发明人: 邓舜 马琦雯

    摘要: 本发明公开了一种晶硅切割液,其组分包括高分子嵌段聚醚、醇类润湿剂A和醇类润湿剂B;高分子嵌段聚醚为环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷的嵌段共聚物;醇类润湿剂A为接环氧乙烷和环氧丙烷改性的醇类;醇类润湿剂B为接环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷改性的炔二醇乙氧基化合物。本发明晶硅切割液具有优良的润湿、冷却、润滑、清洗、带屑和低泡性能,还有很好的渗透性和抗菌性,可以循环使用;本发明晶硅切割液可以有效地降低硅片表面的TTV,降低线痕,降低金刚线与硅片表面的摩擦,提高一级品率;本发明晶硅切割液还可有效地保护金刚线,减少金刚线的磨损,提高金刚线的耐用度,进而提高产能和经济效益。

    一种多硅块粘棒工艺
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116164020A

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202310201255.3

    申请日:2023-01-17

    发明人: 邓舜 马琦雯

    IPC分类号: F16B11/00 H01L31/18

    摘要: 本发明公开了一种多硅块粘棒工艺,包括如下步骤:1)晶托顶面涂布粘板胶;2)将载板平放在晶托顶面;3)将重压板平压在载板上,使载板与晶托完全贴合;4)取走重压板,载板顶面涂布粘棒胶;5)将至少两排预先制备的硅块组放置在载板顶面的粘棒胶层上,且使相邻两排硅块组之间留有间隙;以相邻两排硅块组之间的间隙为排间缝隙;6)将底面设有隔板的顶板平放在各排硅块组上,且使隔板插入对应的排间缝隙;7)对载板顶面的硅块组施压,使相邻两排硅块组贴紧该两排硅块组之间的隔板;8)将重压板平压在顶板上,使各硅块与载板完全贴合。本发明可对多个硅块进行自动粘棒,可精准定位,可有效提高粘棒效率和切片产能,且操作简捷、智能。

    一种用于硅料整棒磨倒的工艺
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115502816A

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202211149664.5

    申请日:2022-09-21

    发明人: 邓舜 马琦雯

    IPC分类号: B24B9/06 B24B1/00

    摘要: 本发明提供了一种用于硅料整棒磨倒的工艺,属于半导体器件加工技术领域;在本发明中,将从边皮料中开方得到的小硅块的其中某一个角进行直角打磨,然后再以磨完的小硅块直角边为基准进行拼接成硅料整棒,最后对硅料整棒进行整棒磨倒,得到标准硅棒;本发明中所述工艺实现了小硅块的多块拼接,不会存在尺寸不均磨倒不到的缺陷,并且所述方法简单有效,对利用边皮料有着很好的前景。

    晶硅切割液及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN112779079B

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202110175428.X

    申请日:2021-02-09

    发明人: 邓舜 马琦雯

    摘要: 本发明公开了一种晶硅切割液,其组分包括高分子嵌段聚醚、醇类润湿剂A和醇类润湿剂B;高分子嵌段聚醚为环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷的嵌段共聚物;醇类润湿剂A为接环氧乙烷和环氧丙烷改性的醇类;醇类润湿剂B为接环氧乙烷、环氧丙烷和环氧丁烷改性的炔二醇乙氧基化合物。本发明晶硅切割液具有优良的润湿、冷却、润滑、清洗、带屑和低泡性能,还有很好的渗透性和抗菌性,可以循环使用;本发明晶硅切割液可以有效地降低硅片表面的TTV,降低线痕,降低金刚线与硅片表面的摩擦,提高一级品率;本发明晶硅切割液还可有效地保护金刚线,减少金刚线的磨损,提高金刚线的耐用度,进而提高产能和经济效益。