单次溅射制备不同成分Ti-Al-N系高温耐磨薄膜的工艺

    公开(公告)号:CN104947055A

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201510261232.7

    申请日:2015-05-20

    Abstract: 本发明涉及一种单次溅射制备不同成分Ti-Al-N系高温耐磨薄膜的工艺,采用双靶反应共溅射的方法,双靶采用纯金属Ti靶和Al靶,双靶之间相对呈90°对称放置,基体位置沿双靶中心连线位置放置,两靶材与基体之间的角度均为45°,溅射一次,试样台上的硬质合金或陶瓷基体上制备一系列不同成分的薄膜。本发明的有益效果是:采用Ti靶和Al靶双靶磁控共溅射的方法可以有效解决制靶繁杂且成本昂贵的困难;通过改变基体位置方便地控制薄膜的化学成分,使得研究过程大为简化,且有效降低成本。

    二硒化铌或二硫化铌/碳耐磨纳米复合材料的制备工艺

    公开(公告)号:CN104962235A

    公开(公告)日:2015-10-07

    申请号:CN201510260053.1

    申请日:2015-05-20

    Abstract: 本发明涉及一种二硒化铌或二硫化铌/碳耐磨纳米复合材料的制备工艺,采用固相法制备纳米复合材料,包括以下步骤:称取铌粉、硒粉或硫粉、石墨粉,加至分散介质中,磁力搅拌混合;静置,去上清液,干燥;以10℃/min升温,保温反应,取出,自然冷却至室温,得到NbSe2/石墨复合材料或者NbS2/石墨复合材料。本发明的有益效果是:采用固相法制备纳米复合材料,减少了以往液相法制备工艺的污染,实现了绿色、环保的工艺;既降低了NbSe2或NbS2的制备难度,又有效降低了纳米材料的制备成本,从而拓宽了其在机械行业内的应用前景;制备的二硒化铌或二硫化铌/碳耐磨纳米复合材料具有优异的减磨性能。

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