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公开(公告)号：CN112171189A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202010982240.1
申请日：2020-09-17
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种薄板钼金属的精密高效切割方法，包括如下步骤：准备样品、预校平钼板、准备切割工装模具、切割。本发明选用光纤激光切割机对钼衬底进行切割，选用特定的参数，使切割效率、尺寸精度、翘曲度及毛刺情况的要求都得到了保证；激光切割前，对坯料进行预校平；同时，光纤激光切割方法切割工件时，对每一个独特形状的产品，必须有匹配的工装来配合该切割方法，从而保证切割产品的精度。
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公开(公告)号：CN106270866A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610762764.3
申请日：2016-08-30
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司
摘要： 本发明涉及靶材焊接技术领域，更具体地说，涉及一种旋转钼靶材的焊接方法，该方法包括：材料准备、在竖直方向上的第一旋转钼靶材的焊接、将焊接装置倒立后的第二旋转钼靶材的焊接。本发明的技术方案中采用的铟基钎料可完全满足靶材的导电导热性能要求，铟基钎料及背管可以循环使用，采用竖立钎焊方式可方便操作者对旋转钼靶材与背管相对稳定尺寸的获得，靶材内部残余应力较低，工艺操作简单，方便实用，适宜进一步推广应用。
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公开(公告)号：CN114959595B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202111548656.3
申请日：2021-12-17
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司
IPC分类号： C23C14/34 , C22C1/03 , C22C21/00 , C22F1/04 , C21D1/30 , C22B9/04 , B22D7/00 , B22D18/06 , B22D7/06 , B22D27/04 , B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射用高纯铝钕合金靶材及其制造方法，以高纯铝、铝钕中间合金为原料，称取特定比例的高纯铝和铝钕中间合金块，在真空熔炼炉中高温熔炼，再低温熔炼，真空浇铸到高纯氧化铝内衬的真空水冷模中快速冷却，得到浇铸方胚后保温并做均匀化处理，然后进行轧制，轧制后的合金板胚进行退火处理，水切割去边，机加工至合适尺寸，焊接至铜背板。本发明最终得到高质量的铝钕合金靶材，合金化程度高无中间相，平均晶粒大小不超过40um，组织均匀致密无内部缺陷。
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公开(公告)号：CN114959596A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202111587044.5
申请日：2021-12-23
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司
IPC分类号： C23C14/34 , B22F5/00 , B22F1/142 , B22F3/04 , B22F3/00 , B22F3/14 , B22F3/18 , B22F3/24 , C22F1/18 , C21D1/30
摘要： 本发明涉及一种钼合金包覆热成型工艺，包括如下步骤：原料挑选；真空干燥混料；粉末填充，同时完成纯钼包覆；对填充好粉末的包套揉压，抽真空除气，取出分隔套；冷等静压；生坯切割整形；通氢气热压烧结成型；轧制；消除应力退火。本发明制得的靶坯杂质含量更低，纯度更高；靶坯密度高；靶坯内部组织均匀；使用常规装备、制造成本低。
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公开(公告)号：CN114959595A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202111548656.3
申请日：2021-12-17
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司
IPC分类号： C23C14/34 , C22C1/03 , C22C21/00 , C22F1/04 , C21D1/30 , C22B9/04 , B22D7/00 , B22D18/06 , B22D7/06 , B22D27/04 , B23P15/00
摘要： 本发明涉及一种溅射用高纯铝钕合金靶材及其制造方法，以高纯铝、铝钕中间合金为原料，称取特定比例的高纯铝和铝钕中间合金块，在真空熔炼炉中高温熔炼，再低温熔炼，真空浇铸到高纯氧化铝内衬的真空水冷模中快速冷却，得到浇铸方胚后保温并做均匀化处理，然后进行轧制，轧制后的合金板胚进行退火处理，水切割去边，机加工至合适尺寸，焊接至铜背板。本发明最终得到高质量的铝钕合金靶材，合金化程度高无中间相，平均晶粒大小不超过40um，组织均匀致密无内部缺陷。
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公开(公告)号：CN106270866B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201610762764.3
申请日：2016-08-30
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司
摘要： 本发明涉及靶材焊接技术领域，更具体地说，涉及一种旋转钼靶材的焊接方法，该方法包括：材料准备、在竖直方向上的第一旋转钼靶材的焊接、将焊接装置倒立后的第二旋转钼靶材的焊接以及第三旋转钼靶材的焊接。本发明的技术方案中采用的铟基钎料可完全满足靶材的导电导热性能要求，铟基钎料及背管可以循环使用，采用竖立钎焊方式可方便操作者对旋转钼靶材与背管相对稳定尺寸的获得，靶材内部残余应力较低，工艺操作简单，方便实用，适宜进一步推广应用。
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公开(公告)号：CN114959596B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202111587044.5
申请日：2021-12-23
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司
IPC分类号： C23C14/34 , B22F5/00 , B22F1/142 , B22F3/04 , B22F3/00 , B22F3/14 , B22F3/18 , B22F3/24 , C22F1/18 , C21D1/30
摘要： 本发明涉及一种钼合金包覆热成型工艺，包括如下步骤：原料挑选；真空干燥混料；粉末填充，同时完成纯钼包覆；对填充好粉末的包套揉压，抽真空除气，取出分隔套；冷等静压；生坯切割整形；通氢气热压烧结成型；轧制；消除应力退火。本发明制得的靶坯杂质含量更低，纯度更高；靶坯密度高；靶坯内部组织均匀；使用常规装备、制造成本低。
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公开(公告)号：CN112171189B
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202010982240.1
申请日：2020-09-17
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种薄板钼金属的精密高效切割方法，包括如下步骤：准备样品、预校平钼板、准备切割工装模具、切割。本发明选用光纤激光切割机对钼衬底进行切割，选用特定的参数，使切割效率、尺寸精度、翘曲度及毛刺情况的要求都得到了保证；激光切割前，对坯料进行预校平；同时，光纤激光切割方法切割工件时，对每一个独特形状的产品，必须有匹配的工装来配合该切割方法，从而保证切割产品的精度。
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公开(公告)号：CN213605283U
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202022041565.8
申请日：2020-09-17
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司
IPC分类号： A47B81/00 , A47B91/06 , A47B88/40 , A47B88/969 , F16F15/067
摘要： 本实用新型公开了一种钼圆片置物架，包括主体支撑架及万向轮，所述主体支撑架由四根立柱和若干横杆组合而成，所述横杆水平放置，且与立柱焊接固定，所述主体支撑架经横杆分割成若干收纳层，所述收纳层内部均匀间隔设置有若干抽屉，所述抽屉包括挡板和收纳板，所述收纳板两侧均固定连接有滑块，所述滑块一侧适配设置有滑轨，所述滑轨与立柱固定连接，所述收纳板表面开设有若干圆台体的通孔。本实用新型结构简单，使用方便，在生产移送钼圆片时，只需要将钼圆片放置在收纳板表面的通孔内即可，若干通孔的设置，可以提高收纳板的放置数量，且易于取出，大大提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN218296757U
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202222518474.8
申请日：2022-09-22
申请人： 常州苏晶电子材料有限公司(CN)
IPC分类号： F27D7/02
摘要： 本实用新型公开了一种氢气节能使用装置，包括烧结炉及与烧结炉相连通的高温加热炉，所述烧结炉和高温加热炉通过气体输送调节机构相连通。本实用新型通过设置气体输送调节机构，当第一排气管内氢气浓度不达标时，第一气阀和氢气气阀开启，第二气阀关闭，让气体从第一排气管远离氢气输出口的一端排出，氢气输送管通过第二排气管将氢气输送至高温加热炉内供给使用，当第一排气管内氢气浓度达标时，第一气阀和氢气气阀关闭，第二气阀开启，让第一排气管内的氢气通过第二排气管输入高温加热炉内供给使用，达到了节约生产成本的效果。
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