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公开(公告)号:CN117535621A
公开(公告)日:2024-02-09
申请号:CN202311496617.2
申请日:2023-11-10
申请人: 广东工业大学
摘要: 本发明公开了一种带隙可调的三元合金LuxIn1‑xO材料的制备及其日盲紫外探测器的应用。一种带隙可调的三元合金LuxIn1‑xO材料的制备方法,采用磁控溅射的方法制备三元合金LuxIn1‑xO材料,选择氧化铟靶材和氧化镥靶材;所述氧化铟靶材的溅射功率为25‑35W,氧化镥靶材的溅射功率为30‑150W;将Ar以及O2引入设备腔体,室温条件下,在基底上得到LuxIn1‑xO,其中0