公开(公告)号：CN110987984A

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201911368524.5

申请日：2019-12-26

Applicant: 广东正业科技股份有限公司

Inventor： 徐地华 ,  黄洪辉 ,  钱蓉晖 ,  彭水华 ,  王天辉 ,  高垒 ,  管世鑫 ,  沈成军 ,  李丛生 ,  张梦阳 ,  丁智慧 ,  张文娟 ,  陈晓庆

IPC: G01N23/04 ,  G06T3/40

Abstract: 本发明公开了一种检测系统及其检测方法，该系统包括：至少两个具有不同射线强度的X射线源、载物装置、处理系统以及至少两个检测成像系统；X射线源、载物装置和检测成像系统被配置为，由X射线源生成的射线透照位于载物装置上的样品，检测成像系统接收透过样品衰减后的射线光子形成灰度图像并发送至处理系统并在处理系统中拼合。本发明通过采用具有不同射线强度的X射线源对样品进行穿透以得到不同的灰度图像，将这些灰度图像拼合以得到能够完整显示样品内部缺陷的拼合图像；将该拼合图像作为后续图像处理及缺陷识别的基础，能避免因样品不同部位中对于X射线吸收程度的差异造成的检测结果偏差，从而提高了对样品的质量评估准确性。