一种用于微纳加工的电转向器

    公开(公告)号:CN206701505U

    公开(公告)日:2017-12-05

    申请号:CN201720118837.5

    申请日:2017-02-09

    IPC分类号: B03C7/02

    摘要: 本实用新型涉及微纳加工领域,具体地来讲为一种用于微纳加工的电转向器。该转向器包括:形状相同的第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体,其中所述第一弧形体、第二弧形体、第三弧形体以及第四弧形体的横截面按照十字象限的原点为圆心在四个象限对称分布,相邻两个弧形体之间具有粒子束通过的间隙,其中第一弧形体与第三弧形体以十字象限的原点为圆心对称,所述第二弧形体与第四弧形体以十字象限的原点为圆心对称。本实用新型采用四个弧形体相对的两个弧形体极性相同形成的电场带电粒子可直角转向从而将所需要分离的物质分离。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利