一种二维压电对称驱动微纳定位平台

    公开(公告)号:CN114567204A

    公开(公告)日:2022-05-31

    申请号:CN202210200095.6

    申请日:2022-03-02

    Applicant: 广州大学

    Abstract: 本发明提供了一种二维压电对称驱动微纳定位平台,包括:X方向驱动单元、Y方向驱动单元和连接组件;所述X方向驱动单元和所述Y方向驱动单元通过所述连接组件在竖直方向连接;所述X方向驱动单元包括:工作平台和两个第一桥式位移放大机构,两个所述第一桥式位移放大机构对称串联设置在所述工作平台的两端;所述Y方向驱动单元包括:连接梁和两个第二桥式位移放大机构,两个所述第二桥式位移放大机构对称串联设置在所述连接梁的两端;所述工作平台和所述连接梁平行正交。本发明克服了传统压电作动器输出位移曲线不对称的现象,解决了传统的作动器只能依赖结构的弹性完成回程位移的缺点,提高了执行器的定位精度。

    一种抑制正交扰动的二维压电驱动平台

    公开(公告)号:CN114744910A

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202210505636.6

    申请日:2022-05-10

    Applicant: 广州大学

    Abstract: 本发明提供了一种抑制正交扰动的二维压电驱动平台,包括基板以及工作平台,以工作平台中心为原点X‑Y正交平面内设有四组柔性隔离结构,柔性隔离结构通过导向机构与工作平台相连接,一组正交柔性隔离结构的远离工作平台一侧分别设置有压电驱动单元,压电驱动单元包括U型槽、两个压电叠堆以及中心块,U型槽开设于基板上,并与柔性隔离结构两端连接,中心块与柔性隔离结构外侧中部连接,压电叠堆的两端均设有球头,压电叠堆的两端分别与U型槽的内侧壁和中心块的侧面相抵触。本发明通过柔性隔离结构增强了压电驱动单元的抗扰动能力,避免X(Y)方向的压电驱动单元工作时对Y(X)方向的压电驱动单元带来侧向力,导致其发生偏转而不能正常工作。

    一种三自由度压电驱动微纳定位平台

    公开(公告)号:CN114513142A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202210128107.9

    申请日:2022-02-11

    Applicant: 广州大学

    Abstract: 本发明涉及压电驱动微纳定位平台技术领域,尤其是涉及一种三自由度压电驱动微纳定位平台。包括基座,所述基座中心设有可旋转的工作平台,所述工作平台的四周设有四个压电驱动单元,所述压电驱动单元通过柔性铰链与所述工作平台连接;所述工作平台的转动范围θ、偏心距e、所述压电驱动单元的最大驱动行程x之间的关系满足以下公式:该定位平台通过改变压电驱动单元的位置,以工作平台的中心线为基准,分别将四个压电驱动单元平移偏心距e,四个压电驱动单元同时输出驱动位移,工作平台将受到顺时针或逆时针的力矩而旋转,实现增加对工作平台的驱动自由度的目的。

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