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公开(公告)号:CN102317020A
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN200980156923.3
申请日:2009-10-13
申请人: 应用材料公司
IPC分类号: B23D57/00
CPC分类号: B23D57/0023 , B23D57/0061
摘要: 本发明描述了线绳管理单元,所述线绳管理单元适合于线锯装置(200;300;400;500),所述线锯装置具有线绳(213),所述线绳形成用于切割的线网。线绳管理单元包括:滑轮移动装置(240;440);至少一个滑轮(220;520),所述至少一个滑轮用于使所述线绳改变方向并且适合于将所述线绳引导至所述线网,其中,所述至少一个滑轮连接到所述滑轮移动装置并且适合于围绕滑轮轴线(222;522)旋转;线轴(212),在从所述线轴解绕所述线绳的过程中,所述线轴用于向所述线网提供所述线绳,其中,所述线轴包括旋转轴线(212a)和线绳承载区域(213a),所述线绳承载区域具有沿着所述旋转轴线的方向的长度;并且其中,所述滑轮移动装置适合于使所述至少一个滑轮沿着所述旋转轴线(212a)的方向移动。
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公开(公告)号:CN102317020B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN200980156923.3
申请日:2009-10-13
申请人: 应用材料公司
IPC分类号: B23D57/00
CPC分类号: B23D57/0023 , B23D57/0061
摘要: 本发明描述了线绳管理单元,所述线绳管理单元适合于线锯装置(200;300;400;500),所述线锯装置具有线绳(213),所述线绳形成用于切割的线网。线绳管理单元包括:滑轮移动装置(240;440);至少一个滑轮(220;520),所述至少一个滑轮用于使所述线绳改变方向并且适合于将所述线绳引导至所述线网,其中,所述至少一个滑轮连接到所述滑轮移动装置并且适合于围绕滑轮轴线(222;522)旋转;线轴(212),在从所述线轴解绕所述线绳的过程中,所述线轴用于向所述线网提供所述线绳,其中,所述线轴包括旋转轴线(212a)和线绳承载区域(213a),所述线绳承载区域具有沿着所述旋转轴线的方向的长度;并且其中,所述滑轮移动装置适合于使所述至少一个滑轮沿着所述旋转轴线(212a)的方向移动。
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