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公开(公告)号:CN103797088A
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN201280031223.3
申请日:2012-05-08
申请人: 应用纳米技术控股股份有限公司
IPC分类号: C09K13/00
CPC分类号: H01B1/02 , H01L31/022425 , Y02E10/50 , Y10S977/773
摘要: 对于太阳能电池制造,向可印刷介质添加前体以辅助蚀刻穿过氮化硅或氧化硅层,从而得到与在氮化物或氧化物层之下的基材的接触。蚀刻机制可能是通过原位形成的熔融的陶瓷、基于氟化物的蚀刻和两者的结合。