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发明公开
用于CMP过程控制的在线流出物分析方法和装置无效

公开(公告)号：CN102027573A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200980116963.5

申请日：2009-05-15

申请人： 康福鲁恩赛有限责任公司

发明人： 斯蒂芬·J·贝纳 , 达里尔·W·彼得斯

IPC分类号： H01L21/304

CPC分类号： G05B11/06

摘要： 用于收集和分析由化学机械平坦化(CMP)过程产生的流出物流的装置和方法对至少一个流出物特征进行连续测量并且随时间推移综合结果以创建对平坦化过程的体积分析。体积分析可以用作用于控制平坦化过程自身(例如基于膜材料的已知的初始厚度的终点检测)的反馈/前馈信号、产生用于超范围测量的报警信号和/或在排放之前对流出物的处理中有用的废物流指示物(例如确定pH修正)。