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发明公开
用于对MEMS设备进行声学测试的方法和装置审中-实审

公开(公告)号：CN115348947A

公开(公告)日：2022-11-15

申请号：CN202180023414.4

申请日：2021-01-26

申请人： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会

发明人： 托比亚斯·弗里奇 , 托比亚斯·克劳斯 , 保罗·弗里切 , 马蒂亚斯·菲德勒

IPC分类号： B81C99/00

摘要： 实施例提供一种用于对多个MEMS设备中的至少一个MEMS设备进行声学测试的方法。所述方法包括提供至少一个MEMS设备的步骤。另外，所述方法包括激发所述至少一个MEMS设备以产生声学振动的步骤。另外，所述方法包括通过至少一个声音传感器对所述至少一个MEMS设备的所述声学振动进行检测的步骤。另外，所述方法包括评估所述至少一个MEMS设备通过所述至少一个声音传感器检测的所述声学振动，以针对目标功能测试所述至少一个MEMS设备的步骤。