公开(公告)号：CN119374715A

公开(公告)日：2025-01-28

申请号：CN202310935163.8

申请日：2023-07-27

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 龚爽 ,  吴芳 ,  步扬

IPC: G01J1/42 ,  G01J1/04 ,  G01J1/02 ,  G06F17/14

Abstract: 本申请涉及用于测量光场分布的装置和方法。该装置包括：孔径掩模器件，孔径掩模器件被放置在待测光场的空域面或频域面并且具有透光区域，透光区域用于透过待测光场的一部分；光学传输模块，光学传输模块用于对部分待测光场的进行调制以使得其Wigner分布随传播过程在相空间内旋转；以及光强探测模块，光强探测模块用于探测部分待测光场经光学传输模块调制后的二维光强分布。

公开(公告)号：CN118732406A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202310334109.8

申请日：2023-03-30

Applicant: 张江国家实验室 ,  中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 李笑然 ,  龚爽 ,  吴芳 ,  步扬 ,  陈逸文

IPC: G03F7/20

Abstract: 本申请涉及基于相分离的激光调制装置及系统。该装置包括漫透射光学元件，用于对极紫外波段的激光束进行随机相位调制并且透射所述激光束，其中所述漫透射光学元件包括自支撑膜，所述自支撑膜具有相分离的多晶相和无定型相。

公开(公告)号：CN118068463A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202211475375.4

申请日：2022-11-23

Applicant: 张江国家实验室 ,  中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 李雪强 ,  步扬 ,  吴芳 ,  袁丰华

IPC: G02B3/00 ,  G02B27/09

Abstract: 本申请涉及生成微透镜阵列的方法、匀光性调控光学器件和装置、处理器和介质。该方法包括以下步骤：根据微透镜单元的分布密度和微透镜阵列的尺寸确定微透镜单元的数量，并且在一平面区域上生成数量的随机点；以每个随机点作为每个微透镜单元的特征点，在平面区域中生成每个微透镜单元的多边形边界，其中相邻的微透镜单元紧密贴合；以及在相应微透镜单元的多边形内形成具有曲率半径的微透镜单元，从而生成微透镜阵列。

公开(公告)号：CN118732407A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202310335541.9

申请日：2023-03-30

Applicant: 张江国家实验室 ,  中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 吴芳 ,  龚爽 ,  李笑然 ,  步扬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本申请涉及基于碳纳米管的激光调制装置及系统。该装置包括：透过式随机相位调制器，用于对激光束进行随机相位调制并且透射所述激光束，其中所述透过式随机相位调制器包括碳纳米管薄膜。

公开(公告)号：CN118567187A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202310182692.5

申请日：2023-02-28

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 龚爽 ,  吴芳 ,  步扬 ,  鲁湛

IPC: G03F7/20 ,  G02B27/48

Abstract: 本申请涉及用于激光调制的装置以及用于光刻的系统。该装置(100)包括：微反射镜组(110)，所述微反射镜组(110)包括多个微反射面用于反射激光束，其中至少两个所述微反射面具有不同的倾斜状态；以及驱动机构(120)，所述驱动机构(120)用于驱动所述微反射镜组进入运动状态。