带梯度边沿的衍射光学元件

    公开(公告)号:CN107710051B

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN201680039259.4

    申请日:2016-06-15

    Abstract: 在包括带有结合了衍射光栅的多个衍射光学元件(DOE)的波导的光学系统中,上游DOE的后沿出射的光进入下游DOE的前沿。DOE的一个或多个可包括具有梯度轮廓的前沿和/或后沿。在上游DOE的梯度后沿处,作为到后沿的邻近度的函数,光栅高度从全高度平滑地降低到浅的高度。在下游DOE的梯度前沿处,作为距前沿的距离的函数,光栅高度从浅的高度平滑地增加到整个高度。通过减少在上游和下游DOE之间的界面处的锐利边界,DOE边沿的梯度轮廓使得光学分辨率能够被维持降低对于在制造期间发生的DOE之间的未对准的敏感度。

    带梯度边沿的衍射光学元件

    公开(公告)号:CN107710051A

    公开(公告)日:2018-02-16

    申请号:CN201680039259.4

    申请日:2016-06-15

    Abstract: 在包括带有结合了衍射光栅的多个衍射光学元件(DOE)的波导的光学系统中,上游DOE的后沿出射的光进入下游DOE的前沿。DOE的一个或多个可包括具有梯度轮廓的前沿和/或后沿。在上游DOE的梯度后沿处,作为到后沿的邻近度的函数,光栅高度从全高度平滑地降低到浅的高度。在下游DOE的梯度前沿处,作为距前沿的距离的函数,光栅高度从浅的高度平滑地增加到整个高度。通过减少在上游和下游DOE之间的界面处的锐利边界,DOE边沿的梯度轮廓使得光学分辨率能够被维持降低对于在制造期间发生的DOE之间的未对准的敏感度。

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