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公开(公告)号:CN115298775A
公开(公告)日:2022-11-04
申请号:CN202180021245.0
申请日:2021-03-10
申请人: 思睿逻辑国际半导体有限公司
摘要: 一种用于构建螺线管电感器的方法包括将内绕组基本上定位在磁芯周围,将外绕组基本上定位在内绕组周围,以及使用分层工艺来执行内绕组和外绕组的所述定位。分层工艺包括将第一导电层加工为外绕组的底层,在其上加工第一介电层,在其上加工第二导电层作为内绕组的底层,在其上加工第二介电层,在其上加工磁芯层,在其上加工第三介电层,在其上加工第三导电层作为内绕组的顶层,在其上加工第四介电层,在其上加工第四导电层作为外绕组的顶层,在其上加工第五介电层,并且内绕组与外绕组是电连接的。
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