公开(公告)号：CN118588522B

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202411073109.8

申请日：2024-08-06

Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) ,  惠然科技有限公司

Inventor： 李成宇 ,  杨思源 ,  王志斌 ,  付建强 ,  张松涛

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: 本申请公开了一种用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品。该载物单元包括：载物平板，其通过固定支架安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且载物平板上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；以及钉台，其嵌入在载物平板的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。通过本申请实施例提供的方案，能够将载物平板及钉台一同固定在带电粒子束装置上，使得载物单元与带电粒子束装置形成一个整体，即使在震动的情况下，带电粒子束装置中的带电粒子束与样品的相对位置也不会产生变化，从而排除环境和装置震动对检测结果的负面影响，提高了带电粒子束装置性能检测的稳定性。

公开(公告)号：CN118588522A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202411073109.8

申请日：2024-08-06

Applicant: 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) ,  惠然科技有限公司

Inventor： 李成宇 ,  杨思源 ,  王志斌 ,  付建强 ,  张松涛

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: 本申请公开了一种用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品。该载物单元包括：载物平板，其通过固定支架安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且载物平板上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；以及钉台，其嵌入在载物平板的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。通过本申请实施例提供的方案，能够将载物平板及钉台一同固定在带电粒子束装置上，使得载物单元与带电粒子束装置形成一个整体，即使在震动的情况下，带电粒子束装置中的带电粒子束与样品的相对位置也不会产生变化，从而排除环境和装置震动对检测结果的负面影响，提高了带电粒子束装置性能检测的稳定性。

公开(公告)号：CN308856239S

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202330867800.3

申请日：2023-12-29

Applicant: 惠然科技有限公司

Designer： 吴旭亭 ,  许涛 ,  付建强

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：带扫描电镜控制系统图形用户界面的显示屏幕面板。
2.本外观设计产品的用途：用于运行程序和显示信息，在显示屏幕面板上进行人机交互；该显示屏幕面板可用于电脑、平板电脑、显示器。
3.本外观设计产品的设计要点：在于显示屏幕中的显示的图形用户界面。
4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1主视图。
5.省略后视图、左视图、右视图、俯视图及仰视图。
6.指定设计1为基本设计。
7.图形用户界面的用途：本外观设计的产品界面用于展示扫描电镜控制系统，并可以进行人机交互。
8.图形用户界面的人机交互方式：在设计1中，当外联设备链接完毕后，用户可打开扫描电镜控制系统进入设计1主视图，在设计1主视图中，可以进行拍摄样品工作；当用户想要移动样品台，点击“运动平台”按钮，进入设计1界面变化状态图1，在界面变化状态图1 中可对样品台做XYZRT 方向的移动；在设计2中，当外联设备链接完毕后，用户可打开扫描电镜控制系统进入设计2主视图，在设计2主视图中，可以进行拍摄样品工作；当找到样品并拍摄好一张样品图后，点击“图像调整”按钮，进入设计2界面变化状态图2，在界面变化状态图2 中可以对样品图进行二次处理功能；在设计3中，当外联设备链接完毕后，用户可打开扫描电镜控制系统进入设计3主视图，在设计3主视图中，可以进行拍摄样品工作；在拍摄样品过程中，点击“抽真空”按钮，进入设计3界面变化状态图3，在界面变化状态图3 中，展示了所有真空系统外设的设备信息，包括正常和异常状态标识，用户可根据异常标识去查看外设设备状态，并对其进行相关操作；在设计4中，当外联设备链接完毕后，用户可打开扫描电镜控制系统进入设计4主视图，在设计4主视图中，可以进行拍摄样品工作；点击设计4主视图中顶部导航菜单，点击后弹出下拉选择框，进入设计4界面变化状态图4，在界面变化状态图4 中，可以通过点击相应的按键进入对应的功能界面。