一种可实现温度补偿的膜片及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN117268623A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311097222.5

    申请日:2023-08-28

    IPC分类号: G01L9/00 G01L19/04 B29D7/01

    摘要: 本发明公开了一种可实现温度补偿的膜片及其制备方法和应用,可实现温度补偿的膜片包括由金属片制成的膜片本体,膜片本体包括左半膜和右半膜,左半膜和右半膜上设置有波纹回转体,并且左半膜和右半膜以膜片本体的中线为对称轴相互对称;膜片本体整体呈正锥形或负锥形。本发明通过对膜片结构进行重新设计,可以将膜片式传感器的温度补偿由结构件补偿变更为膜片自身补偿,补偿值范围可由现有技术中的‑15~15μm扩大至‑30~40μm,补偿效果更为明显;并且能够保证在膜片式传感器小型化的同时实现温度补偿,同时可以大幅降低对结构件和膜片材料的挑选难度,使传感器设计更为简便。