公开(公告)号：CN113710403B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202080026154.1

申请日：2020-02-06

申请人： 振幅公司 ,  科学研究国家中心 ,  波尔多大学

发明人： E·奥杜瓦 ,  G·博纳米斯 ,  K·米什切克 ,  C·洪尼格 ,  J·洛佩兹 ,  I·马内克-霍宁格 ,  E·莫特泰

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/352 ,  B23K26/362 ,  B23K26/40 ,  G01N25/00

摘要： 本发明提供了一种用于确定给定材料的高重复率飞秒激光烧蚀法的操作条件的方法，包括确定适于在材料中产生烧蚀坑的激光脉冲突发的一组参数的第一步骤，该组参数包括介于几百MHz至100GHz之间的突发内重复频率f；等于加热和烧蚀脉冲数N的激光脉冲突发的脉冲数N，其中Nc由等式Nc＝(L2.f)/D定义，其中L表示测试深度，D表示待烧蚀材料的热扩散系数，其中Nc大于或等于10；脉冲突发的特征总注量FTchar；以及低于单个激光脉冲对材料的烧蚀阈值注量Fs1的每脉冲特征注量Fchar＝FTchar/NC。

公开(公告)号：CN113710403A

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202080026154.1

申请日：2020-02-06

申请人： 振幅公司 ,  科学研究国家中心 ,  波尔多大学

发明人： E·奥杜瓦 ,  G·博纳米斯 ,  K·米什切克 ,  C·洪尼格 ,  J·洛佩兹 ,  I·马内克-霍宁格 ,  E·莫特泰

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/352 ,  B23K26/362 ,  B23K26/40 ,  G01N25/00

摘要： 本发明提供了一种用于确定给定材料的高重复率飞秒激光烧蚀法的操作条件的方法，包括确定适于在材料中产生烧蚀坑的激光脉冲突发的一组参数的第一步骤，该组参数包括介于几百MHz至100GHz之间的突发内重复频率f；等于加热和烧蚀脉冲数N的激光脉冲突发的脉冲数N，其中Nc由等式Nc＝(L2.f)/D定义，其中L表示测试深度，D表示待烧蚀材料的热扩散系数，其中Nc大于或等于10；脉冲突发的特征总注量FTchar；以及低于单个激光脉冲对材料的烧蚀阈值注量Fs1的每脉冲特征注量Fchar＝FTchar/NC。

公开(公告)号：CN113678330A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202080026292.X

申请日：2020-02-04

申请人： 振幅公司

发明人： M·德莱格 ,  C·洪尼格 ,  E·奥杜瓦

IPC分类号： H01S3/23

摘要： 本发明涉及一种脉冲激光系统，包括注入系统(10)、光学放大系统(20)和光束组合器(71)，脉冲激光系统被设计为一方面产生具有介于100fs至几百皮秒之间的短持续时间(Tc)的放大脉冲(301)，另一方面产生具有介于几皮秒至几百纳秒之间的长持续时间(TL)的另一放大脉冲(402)，具有短持续时间(Tc)的放大脉冲(301、311、401、501)和具有长持续时间(TL)的其他放大脉冲(302、402)来自同一光学放大系统(20)，并且具有短持续时间(Tc)的放大脉冲(301)与具有长持续时间(TL)的其他放大脉冲(402)以小于或等于长持续时间(TL,Tt)的相对延迟(Δt2)在时间上重叠。