公开(公告)号：CN105705085A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201480044882.X

申请日：2014-06-12

申请人： 新加坡科技研究局 ,  新加坡保健集团

发明人： 陈伟彬 ,  M·S·纳尔杜奇 ,  高原 ,  蔡明霖 ,  林瑞琪 ,  郑茗元 ,  A·R·A·拉赫曼 ,  朴美敬 ,  诸敏圭 ,  J·P·饶

IPC分类号： A61B5/03 ,  A61B5/01 ,  A61B5/00

CPC分类号： A61B5/6852 ,  A61B5/0008 ,  A61B5/0031 ,  A61B5/01 ,  A61B5/031 ,  A61B5/14503 ,  A61B5/14542 ,  A61B5/14865 ,  A61B5/4064 ,  A61B2562/0247 ,  A61B2562/0271 ,  A61B2562/028 ,  A61B2562/063 ,  A61B2562/125 ,  A61B2562/164

摘要： 提供一种用于颅内神经监测的整体集成多模态传感器装置，所述传感器装置包括：单个衬底；形成于所述单个衬底的第一部分上用于检测温度的温度传感器；形成于所述单个衬底的第二部分上用于检测颅内压的压力传感器；以及形成于所述单个衬底的第三部分上用于检测氧浓度的氧传感器。特别地，所述温度传感器、所述氧传感器和所述压力传感器的感测部分分别形成于所述传感器装置的不同层处。也提供一种包含所述传感器装置的集成多模态传感器系统和关联的制造方法。