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公开(公告)号:CN101903560B
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN200880122197.9
申请日:2008-12-19
Applicant: 无穷动力解决方案股份有限公司
CPC classification number: C23C14/06 , C23C14/0036 , C23C14/22 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/352 , H01M2/145 , H01M6/188 , H01M6/40 , H01M10/0525 , H01M10/0562 , H01M10/058 , Y02E60/122 , Y02P70/54
Abstract: 本发明提出了一种用于薄膜电解质的替代性溅射靶组合物或结构,从而使得溅射靶材料体系具有足够的电导率,可以使用(脉冲)DC靶能量进行溅射沉积。在由电导性溅射靶材料系统进行反应性溅射沉积之后,所述电解质膜材料获得了它们所需的电绝缘和可传导锂离子的性质。
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公开(公告)号:CN101903560A
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN200880122197.9
申请日:2008-12-19
Applicant: 无穷动力解决方案股份有限公司
CPC classification number: C23C14/06 , C23C14/0036 , C23C14/22 , C23C14/3407 , C23C14/3414 , C23C14/352 , H01M2/145 , H01M6/188 , H01M6/40 , H01M10/0525 , H01M10/0562 , H01M10/058 , Y02E60/122 , Y02P70/54
Abstract: 本发明提出了一种用于薄膜电解质的替代性溅射靶组合物或结构,从而使得溅射靶材料体系具有足够的电导率,可以使用(脉冲)DC靶能量进行溅射沉积。在由电导性溅射靶材料系统进行反应性溅射沉积之后,所述电解质膜材料获得了它们所需的电绝缘和可传导锂离子的性质。
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