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公开(公告)号：CN101523571A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200780035960.X
申请日：2007-09-26
Applicant: 无穷动力解决方案股份有限公司
IPC: H01L21/31
CPC classification number: C23C14/042 , C23C16/042 , H01M4/0421 , H01M6/40 , Y10T156/1028
Abstract: 本申请涉及掩模技术和装置，尤其涉及对将用一层或多层材料层涂覆的柔性基板进行掩模的方法和装置。该方法涉及挠曲基板以提供曲面，并在该曲面上提供柔性片以将涂层适当地涂在基板的表面上。该装置包括基板和柔性片。诸如弹簧销或离轴轧制杆的弹性材料可用于产生用于挠曲基板和/或柔性片的张力。
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