公开(公告)号：CN1906728A

公开(公告)日：2007-01-31

申请号：CN200480040579.9

申请日：2004-12-02

Applicant: 日新意旺机械股份公司

Inventor： 内藤胜男 ,  藤田秀树

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/1477 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/057

Abstract: 一种离子束装置，包括：发出离子束(4)的离子源；用于从输入的离子束(4)中分离并取出所需质量的离子束(4)的质量分离电磁体(6)；用于在不变的扫描表面内绕不变的扫描中心(P)扫描输入离子束(4)并将其取出的扫描器12；静电偏转器，用于以扫描中心(P)为中心，将所需能量的离子束(4)从输入离子束(4)在致动偏转区域内静电偏转90°，从而在垂直于上述扫描表面的方向上前进，并将其取出；以及扫描机构(54)，用于保持靶(50)并在以常数角度与从静电偏转器(30)取出的离子束(4a)交叉的方向上机械地往复扫描靶。