公开(公告)号：CN116705577A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202211453722.3

申请日：2022-11-21

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 平井裕也 ,  岩波悠太 ,  糸井骏 ,  足立昌和

IPC: H01J27/02 ,  H01J37/08

Abstract: 本发明提供一种阴极支承件及离子源，改善进行灯丝与阴极之间的间隔调整时的作业性。阴极支承件具备：筒状或棒状的阴极支架(1)，在一端支承阴极(6)，在另一端具有凸缘部(2)；及夹持件(3、4、5)，支承阴极支架(1、61)，夹持件(3、4、5)在阴极支架(1、61)的轴向上具有第一调整面(31、41、51)和第二调整面(32、42、52)，通过使阴极支架(1、61)绕阴极支架(1、61)的轴旋转且在阴极支架(1、61)的轴向上移动，能够实现凸缘部(2)从第一调整面(31、41、51)向第二调整面(32、42、52)的配置。

公开(公告)号：CN115692144A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202210791252.5

申请日：2022-07-05

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 平井裕也 ,  赵维江 ,  糸井骏 ,  岩波悠太

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明涉及氢供给装置及具备其的离子束照射装置，尤其涉及一种能够以简单的构成来实现呈稳定的氢供给的氢供给装置。一种氢供给装置(H)，被配置于高电位，且具备：于内部具有储氢合金的瓶子(7)。