公开(公告)号：CN108735648B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN201810035985.X

申请日：2018-01-15

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 糸井骏 ,  盐尻史郎

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，该静电吸盘具有在处理带有肋的晶片方面最适合的接地销配置。静电吸盘(E)支承在外周部具有环状的肋(R)的带有肋的晶片(W)，该静电吸盘(E)包括与晶片(W)接触的接地销(P)，接地销(P)与肋(R)接触。

公开(公告)号：CN108735648A

公开(公告)日：2018-11-02

申请号：CN201810035985.X

申请日：2018-01-15

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 糸井骏 ,  盐尻史郎

IPC: H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，该静电吸盘具有在处理带有肋的晶片方面最适合的接地销配置。静电吸盘(E)支承在外周部具有环状的肋(R)的带有肋的晶片(W)，该静电吸盘(E)包括与晶片(W)接触的接地销(P)，接地销(P)与肋(R)接触。