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公开(公告)号:CN107814199B
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN201711016219.0
申请日:2017-10-25
Applicant: 日本电气硝子株式会社
IPC: B65G49/06
Abstract: 本公开涉及一种气浮设备及其气流引导装置和玻璃基板传送系统,其中所述气流引导装置(2)形成为具有内腔的箱体(20),该箱体(20)的箱壁沿周向依次间隔开设有第一出口(21)、第二出口(22)、第三出口(23)、第四出口(24)和第五出口(25),其中,所述第一出口(21)和所述第二出口(22)分别用于与所述气浮设备的风机(1)的进气口(11)和出气口(12)连通,所述第四出口(24)用于与所述气浮设备的气浮平台(3)连通,所述第三出口(23)和所述第五出口(25)分别可开关地设置,所述箱体(20)内可活动地设置有用于分隔所述内腔以引导气流的导向隔板,以使得所述气浮设备至少具有气浮状态和吸附状态。