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公开(公告)号:CN116491070A
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN202180019530.9
申请日:2021-08-24
Applicant: 日本碍子株式会社
Inventor: 山本岳士 , 鹈野雄大 , 伊奈弘善 , 浅井圭一郎 , 多井知义
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供将弹性波的能量限制于压电层且耐热性优异的复合基板。本发明的实施方式所涉及的复合基板具有压电层和在所述压电层的背面侧所配置的反射层,所述反射层包括高阻抗层和包含氧化硅的低阻抗层,所述高阻抗层中的第一结构的区域超过70%。