公开(公告)号：CN118076920A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202180055382.6

申请日：2021-10-20

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克 ,  近藤厚男 ,  茶园弘基 ,  谷村昴

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供兼备实用水平高的EUV透过率和低压氢气氛环境下的耐久性的EUV透过膜。该EUV透过膜具备：由金属铍构成的主层、以及将主层的至少单面覆盖的由氮化铍构成的保护层。

公开(公告)号：CN119895329A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202280007488.3

申请日：2022-09-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 強力尚纪 ,  谷村昴 ,  柏屋俊克 ,  茶园弘基

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供一种EUV透过膜，其能够抑制构成EUV透过率降低的主要原因的保护层对EUV的吸收，由此在曝光时能够体现出较高的EUV透过率。该EUV透过膜具备：主层(12)，其波长13.5nm处的EUV透过率为85％以上，且由单层或2层以上的复合层构成；以及保护层(14)，其将主层的至少单面覆盖，且包含选自由非晶质碳、Cu、Al及有机抗蚀剂构成的组中的至少1种作为主成分。

公开(公告)号：CN118140177A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202280007294.3

申请日：2022-09-15

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 柏屋俊克 ,  近藤厚男 ,  茶园弘基 ,  谷村昴 ,  強力尚纪

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供EUV透过率及IR放射率均较高的EUV透过膜。该EUV透过膜为波长13.5nm处的EUV透过率为80.0％以上的EUV透过膜，其具备：波长2μm处的IR放射率为2.0％以上的主层、以及将主层的至少单面覆盖的波长2μm处的IR透过率为70％以上的保护层。